[实用新型]过渡腔室和镀膜设备

说明书

本实用新型公开一种过渡腔室和镀膜设备，其中，过渡腔室包括主体，主体内设置有腔体，腔体内部设置有基座，基座上间隔设置有支撑架，支撑架用于支撑面板，支撑架通过连接件与基座连接，连接件设置在支撑架长度方向的两端，支撑架的下表面凹陷设置有凹槽，支撑架具有两个相对的周侧面，两个周侧面与支撑架的长度方向平行，凹槽至少与其中一个周侧面连通，支撑架的下方还设置有加强结构，加强结构支撑凹槽的槽底。通过在支撑架的下表面设置凹槽，可以增大支撑架与基座之间的间隙，方便清洁工具可以伸入支撑架和基座之间的区域中进行擦拭清洁；通过设置加强结构，可以为支撑架提供强度支撑，避免支撑架强度过小而产生弯曲变形。

技术领域

本实用新型涉及面板加工设备领域，尤其涉及一种过渡腔室，以及包括此过渡腔室的镀膜设备。

背景技术

显示设备的显示面板在加工时，需要使用镀膜设备对显示面板(以下简称面板)进行镀膜处理。

参照图1和图2，镀膜设备包括过渡腔室100＇、分配腔室200＇和多个镀膜腔室300＇，分配腔室200＇和镀膜腔室300＇均为真空环境，面板进入过渡腔室100＇之后，需要先对过渡腔室100＇抽真空，然后再将面板送入分配腔室200＇内，由分配腔室200＇内的机械手将面板送入相应的镀膜腔室300＇；当面板镀膜完成后，面板经分配腔室200＇回到过渡腔室100＇，此时，需要向过渡腔室100＇通入气体，使过渡腔室100＇内恢复大气压，然后才能将面板移送到外部。过渡腔室100＇的腔体内设置有基座1＇，基座1＇上设置有用于支撑面板的支撑架2＇，支撑架2＇和基座1＇之间通过垫片3＇间隔。

现有技术存在以下问题：过渡腔室100＇持续在真空状态和大气压状态下切换，过渡腔室100＇内气压变化大，零部件受气压的影响会出现膨胀或收缩，导致零部件之间出现摩擦(特别是垫片3＇的两侧)，产生杂质，而基座1＇与支撑架2＇之间的间隙较小，在清洁时，清洁工具(如拖把)难以伸入到该区域中进行有效清洁，导致该区域内会堆积有大量的杂质，杂质附着在面板会影响面板的镀膜质量。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于：提供一种过渡腔室，其方便清洁。

本实用新型的另一个目的在于：提供一种镀膜设备，其对面板的镀膜质量好。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

第一方面，提供一种过渡腔室，包括主体，所述主体内设置有腔体，所述腔体内部设置有基座，所述基座上间隔设置有支撑架，所述支撑架用于支撑面板，所述支撑架通过连接件与所述基座连接，所述连接件设置在所述支撑架长度方向的两端，所述支撑架的下表面凹陷设置有凹槽，所述支撑架具有两个相对的周侧面，两个所述周侧面与所述支撑架的长度方向平行，所述凹槽至少与其中一个所述周侧面连通，所述支撑架的下方还设置有加强结构，所述加强结构支撑所述凹槽的槽底。

作为过渡腔室的一种优选方案，所述加强结构为加强筋，所述加强筋的一端与所述凹槽的槽底连接，另一端与所述凹槽的槽壁连接。

作为过渡腔室的一种优选方案，所述加强结构为支撑柱，所述支撑柱的上端通过滑动组件与所述支撑架滑动连接，所述支撑柱的下端与所述基座抵紧。

作为过渡腔室的一种优选方案，所述滑动组件包括安装座、丝杆和滑轨，所述安装座固定在所述凹槽的槽底，所述丝杆与所述安装座可转动连接，所述支撑柱与所述丝杆螺纹连接，所述滑轨固定在所述安装座上，所述支撑柱滑动设置在所述滑轨上。

作为过渡腔室的一种优选方案，所述滑动组件包括电机，所述电机的输出轴与所述丝杆连接，所述安装座上设置有位置传感器，所述位置传感器与所述电机电连接，所述位置传感器用于检测所述支撑柱的位置。

作为过渡腔室的一种优选方案，所述支撑柱的下端设置有滚轮。