[实用新型]一种石英管加热装置有效
| 申请号： | 202222241006.0 | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN218146940U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 郭世成;郁寅珑;付少剑 | 申请（专利权）人： | 滁州捷泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 马瑞 |
| 地址： | 239236 安徽省滁州市来*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英管 加热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英管加热装置，其特征在于，所述装置包括：
石英管管体和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述加热电路包括电热丝。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，多个所述加热电路的电热丝的长度相同。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置包括：
多个所述加热电路组，其中，多个所述加热电路组沿所述石英管管体中轴线的方向依次排列设置。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
