[实用新型]一种石英管加热装置

说明书

本申请公开了一种石英管加热装置，属于加热设备技术领域，用以实现石英管不同位置根据实际需求单独控制升温速率。所述石英管加热装置包括：石英管管体和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置。

技术领域

本申请属于加热设备技术领域，具体涉及一种石英管加热装置。

背景技术

石英管是一种用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，因其具有一系列优良的物理、化学性能，被广泛用于各种需要加热的领域，如太阳能电池领域中的镀膜。所谓镀膜是指采用等离子增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)的方法在硅片正面镀氮化硅膜，减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用，其中，需要把插有未镀膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空镀膜设备腔体(如，石英管)内利用PECVD工艺进行放电镀膜。

现有石英管的加热丝一般为环绕石英管的单一环状结构，如图1所示，该环状加热丝各方位均匀的供热，但石英舟、石墨舟等工装夹具不同位置吸收热量存在差异、以及热传导性不同，使得插在所述石英舟、石墨舟不同位置的硅片温度不同，造成硅片受热不均匀，从而影响硅片的生产工艺。

实用新型内容

本申请实施例提供一种石英管加热装置，能够实现石英管不同位置根据实际需求单独控制升温速率，从而使硅片在石英管中的不同位置受热均匀，提高生产硅片的工艺水平。

第一方面，本申请实施例提供了一种石英管加热装置，包括：

石英管管体和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置。

本申请实施例提供的一种石英管加热装置，包括石英管管体和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置，能够实现石英管不同位置根据实际需求单独控制升温速率，从而使硅片在石英管中的不同位置受热均匀，提高生产硅片的工艺水平。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有石英管加热装置的一种结构示意图；

图2是本申请实施例提供的一种石英管加热装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

图2示出本申请的一个实施例提供的一种石英管加热装置，如图2所示，该石英管加热装置10包括：

石英管管体11和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置。