[实用新型]一种晶圆位置精确扫描装置

权利要求书

1.一种晶圆位置精确扫描装置，包括扫描箱(1)、支撑腿(2)，其特征在于：所述扫描箱(1)内部设置有夹持机构(3)，所述夹持机构(3)包括有安装板(301)、电机(302)、螺纹杆(303)、移动板(304)、滑杆一(305)，所述安装板(301)一端与扫描箱(1)一侧固定连接，所述安装板(301)顶部与电机保护罩底部固定连接，所述电机保护罩内壁与电机(302)一端固定连接，所述电机(302)输出端与螺纹杆(303)一端固定连接，所述螺纹杆(303)另一端通过轴承与扫描箱(1)内壁转动连接，所述螺纹杆(303)外壁与移动板(304)内壁螺纹连接，所述移动板(304)内壁与滑杆一(305)外壁滑动连接，所述滑杆一(305)两端与扫描箱(1)内壁固定连接，所述移动板(304)顶部固定安装有夹持箱(306)，所述夹持箱(306)内壁固定安装有分割板(307)，所述分割板(307)一侧固定安装有滑杆二(308)，所述滑杆二(308)外壁滑动连接有夹持板(309)，所述夹持板(309)一侧固定安装有缓冲垫(310)，所述夹持板(309)另一侧固定安装有拉杆(311)，所述拉杆(311)一端固定安装有拉板(312)，所述夹持板(309)一侧与夹持箱(306)内壁之间固定安装有弹簧一；

所述扫描箱(1)内部设置有调节机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆位置精确扫描装置，其特征在于：所述调节机构(6)包括有滑杆三(601)、承载板(602)、电动伸缩杆(603)，所述滑杆三(601)顶部与扫描箱(1)内壁固定连接，所述滑杆三(601)底部与承载板(602)顶部固定连接，所述承载板(602)顶部与电动伸缩杆(603)底部固定连接，所述电动伸缩杆(603)顶部挤压接触有限位板(604)，所述限位板(604)一端挤压接触有限位块(605)，所述限位块(605)一侧固定安装有缓冲杆(606)，所述缓冲杆(606)一端固定安装有缓冲板(607)，所述缓冲板(607)一侧与缓冲箱(608)内壁之间固定安装有弹簧二，所述缓冲箱(608)一端固定安装有滑块(609)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆位置精确扫描装置，其特征在于：所述缓冲垫(310)的数量为两个，所述缓冲垫(310)的材质为橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆位置精确扫描装置，其特征在于：所述弹簧一的数量为两个，所述弹簧一分别对称分布夹持箱(306)内壁两侧。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆位置精确扫描装置，其特征在于：所述限位板(604)底部开设有与电动伸缩杆(603)直径大小相同的限位槽一。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆位置精确扫描装置，其特征在于：所述限位块(605)一侧开设有与限位板(604)直径大小相同的限位槽二。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆位置精确扫描装置，其特征在于：所述扫描箱(1)底部与支撑腿(2)顶部固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆位置精确扫描装置，其特征在于：所述扫描箱(1)正面安装有活动门。