[实用新型]一种MEMS微镜阵列

权利要求书

1.一种MEMS微镜阵列，其特征在于，所述MEMS微镜阵列包括：

MEMS微镜基板，所述MEMS微镜基板包括连接在一起的呈阵列分布的MEMS微镜，且所述MEMS微镜的正面具有电极焊盘；

布线基板，所述布线基板位于所述MEMS微镜基板上方，所述布线基板的背面具有焊盘，所述焊盘与所述电极焊盘对应电连接，且所述布线基板具有开孔，所述开孔与所述MEMS微镜的反射镜一一对应设置以显露所述反射镜。

2.根据权利要求1所述的MEMS微镜阵列，其特征在于：所述布线基板的所述开孔中还设置有滤光片。

3.根据权利要求1所述的MEMS微镜阵列，其特征在于：所述布线基板包括硅基板、PCB基板及陶瓷基板中的一种。

4.根据权利要求1所述的MEMS微镜阵列，其特征在于：所述布线基板设置有与所述焊盘电连接的电极，且所述电极位于所述布线基板的正面、背面及侧面中的一种或组合。

5.根据权利要求4所述的MEMS微镜阵列，其特征在于：当所述电极位于所述布线基板的侧面时，所述MEMS微镜基板与所述布线基板具有相同尺寸。

6.根据权利要求1所述的MEMS微镜阵列，其特征在于：所述MEMS微镜基板上包括M×N个连接在一起的呈阵列分布的所述MEMS微镜，其中，M×N的总值大于等于2，所述MEMS微镜阵列包括平行阵列及交错阵列中的一种或组合。

7.根据权利要求1所述的MEMS微镜阵列，其特征在于：所述MEMS微镜包括一维运动MEMS微镜和二维运动MEMS微镜中的任意一种或组合。

8.根据权利要求1所述的MEMS微镜阵列，其特征在于：所述MEMS微镜包括静电驱动MEMS微镜、电磁驱动MEMS微镜、压电驱动MEMS微镜及电热驱动MEMS微镜中的任意一种或组合。