[实用新型]一种MEMS微镜阵列

说明书

本实用新型提供一种MEMS微镜阵列，MEMS微镜基板包括连接在一起的呈阵列分布的MEMS微镜，且MEMS微镜的正面具有电极焊盘；布线基板具有开孔，且布线基板的背面具有焊盘；通过将布线基板固定于MEMS微镜基板上方，使得焊盘与电极焊盘对应电连接，以实现MEMS微镜基板与布线基板的直接电连接，且开孔与反射镜一一对应设置以显露反射镜。本实用新型可减少传输路径降低损耗、显著提高MEMS微镜阵列的成品率、降低MEMS微镜阵列的加工制造难度、降低制造成本，从而有助于进一步拓展MEMS微镜阵列的应用领域。

技术领域

本实用新型涉及微电子机械系统技术领域，特别是涉及一种MEMS微镜阵列。

背景技术

在光通信系统中，MEMS微镜已经成为调节或改变光信号的核心元器件。目前，MEMS微镜已广泛应用于各种光通信器件中，如可变光衰减器(VOA)、光开关(Switch)、可调滤波器(TF)、波长选择器(WSS)、光交叉连接器(OXC)等。随着光通信技术及MEMS技术的快速发展，MEMS微镜的用途也越来越广泛。

MEMS微镜阵列是由多个MEMS微镜组成的阵列。目前，MEMS微镜阵列主要用于OXC中。随着MEMS微镜阵列技术的日趋成熟，其应用领域也会越来越广。MEMS微镜阵列通常是采用MEMS技术同时制作出紧密相连的M×N个MEMS微镜，各个MEMS微镜的位置排列一致性非常好，可批量制造，但现有的MEMS微镜阵列中每一个MEMS微镜的电极均需要采用TSV(硅通孔)工艺从背面引出，该工艺增加了MEMS微镜阵列的制造难度，且工艺制造流程也较为复杂，成品率低，价格高。

因此，如何降低MEMS微镜阵列的制造难度、简化工艺制造流程、提高制造良率及降低价格，以改善上述缺陷，是亟需解决的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种MEMS微镜阵列，用于解决现有技术中MEMS微镜阵列采用TSV电连接所遇到的上述问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种MEMS微镜阵列，所述MEMS微镜阵列包括：

MEMS微镜基板，所述MEMS微镜基板包括连接在一起的呈阵列分布的MEMS微镜，且所述MEMS微镜的正面具有电极焊盘；

布线基板，所述布线基板位于所述MEMS微镜基板上方，所述布线基板的背面具有焊盘，所述焊盘与所述电极焊盘对应电连接，且所述布线基板具有开孔，所述开孔与所述MEMS微镜的反射镜一一对应设置以显露所述反射镜。

可选地，所述布线基板的所述开孔中还设置有滤光片。

可选地，所述布线基板包括硅基板、PCB基板及陶瓷基板中的一种。

可选地，所述布线基板设置有与所述焊盘电连接的电极，且所述电极位于所述布线基板的正面、背面及侧面中的一种或组合。

可选地，当所述电极位于所述布线基板的侧面时，所述MEMS微镜基板与所述布线基板具有相同尺寸。

可选地，所述MEMS微镜基板上包括M×N个连接在一起的呈阵列分布的所述MEMS微镜，其中，M×N的总值大于等于2，所述MEMS微镜阵列包括平行阵列及交错阵列中的一种或组合。

可选地，所述MEMS微镜包括一维运动MEMS微镜和二维运动MEMS微镜中的任意一种或组合。

可选地，所述MEMS微镜包括静电驱动MEMS微镜、电磁驱动MEMS微镜、压电驱动MEMS微镜及电热驱动MEMS微镜中的任意一种或组合。