[实用新型]一种晶圆环自动化编带包装设备

权利要求书

1.一种晶圆环自动化编带包装设备，其特征在于，包括支撑机构(1)，所述支撑机构(1)上设置有晶圆搬运组件(2)，所述晶圆搬运组件(2)一侧设置有移动式蓝膜存放组件(3)，所述移动式蓝膜存放组件(3)一侧设置有辅助架(4)，所述辅助架(4)一侧设置有晶圆上料组件(5)，所述辅助架(4)上位于所述晶圆上料组件(5)一侧依次设置有定位组件(6)、检测组件(7)，所述辅助架(4)上设置有支撑梁(8)，所述支撑梁(8)上设置有晶圆辅助转运组件(9)，所述辅助架(4)上位于所述支撑梁(8)一侧设置有编带包装组件(10)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆环自动化编带包装设备，其特征在于，所述晶圆搬运组件(2)包括设置在支撑机构(1)上的支撑立柱(11)，所述支撑立柱(11)上设置有横梁(12)，所述横梁(12)上设置有搬运机械手(13)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆环自动化编带包装设备，其特征在于，所述移动式蓝膜存放组件(3)包括设置在支撑机构(1)上的横向导向组件(14)，所述横向导向组件(14)上设置有可移动的横向移动板(15)，所述横向移动板(15)上设置有纵向导向组件(16)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆环自动化编带包装设备，其特征在于，所述纵向导向组件(16)上设置有可移动的纵向移动板(17)，所述纵向移动板(17)上设置有蓝膜存放框(18)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆环自动化编带包装设备，其特征在于，所述晶圆上料组件(5)包括设置在辅助架(4)上的安装框(19)，所述安装框(19)上设置有旋转盘(20)，所述旋转盘(20)上设置有上料手(21)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆环自动化编带包装设备，其特征在于，所述晶圆辅助转运组件(9)包括设置在支撑梁(8)上的转运盘(22)，所述转运盘(22)上设置有若干个晶圆转运机械手(23)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆环自动化编带包装设备，其特征在于，所述编带包装组件(10)包括设置在辅助架(4)上的支撑框架(24)，所述支撑框架(24)上设置有编带存放盘(25)，所述支撑框架(24)上设置有控制箱体(26)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆环自动化编带包装设备，其特征在于，所述支撑机构(1)底部设置有若干个平衡调节组件(27)。