[实用新型]一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置

权利要求书

1.一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，包括清洗桶（1）以及安装于所述清洗桶（1）排料管上的阀门（10），其特征在于：所述清洗桶（1）上固定连接有安装架（2），且所述安装架（2）上固定连接有动力缸（3），还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元（7）、与若干个所述放置单元（7）对应设置的若干个顶起单元（8）和同时带动若干个所述顶起单元（8）上下运动的驱动单元（4）；

所述动力缸（3）的输出端贯穿所述安装架（2）并与所述驱动单元（4）固定连接，所述驱动单元（4）用于带动所述驱动单元（4）、若干个放置单元（7）和若干个放置单元整体进行向下或向上的运动，以方便实现掩膜版做进出清洗液的运动，所述顶起单元（8）配合所述掩膜版自身重力的作用带动所述掩膜版做间隙性的上下运动。

2.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述驱动单元（4）包括固定连接于所述动力缸（3）输出端的低速电机（41），所述低速电机（41）的输出轴下端固定连接有驱动环（42），所述驱动环（42）的外壁上开设有与所述顶起单元（8）相适配的波浪形滑槽（43），所述波浪形滑槽（43）首尾相连，所述低速电机（41）的外壳固定连接在用于密封所述清洗桶（1）开口的密封板（5）上，所述低速电机（41）的输出轴穿过所述密封板（5）轴心处设有的通孔，若干个所述若干个放置单元（7）均呈圆周固定连接于所述密封板（5）的下端。

3.根据权利要求2所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述若干个放置单元（7）包括上端与所述密封板（5）下端固定连接的两个立柱（71），两个所述立柱（71）的下端均固定连接在安装环（6）上，两个所述立柱（71）上均固定连接有若干个U形限位板（72），位于同侧若干个所述U形限位板（72）从上至下呈一字排列，位于最下方所述U形限位板（72）的U形腔内固定连接有支撑圆柱（73），所述掩膜版限位在两侧所述U形限位板（72）形成的限位腔内，并通过支撑圆柱（73）对所述掩膜版的底部形成支撑，若干个所述顶起单元（8）均安装在所述安装环（6）上。

4.根据权利要求3所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述U形限位板（72）的U形腔的三个内面上均活动安装有至少一个万向滚珠（74）。

5.根据权利要求3或4所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述顶起单元（8）包括下端穿过所述安装环（6）上开设的方形孔的方形限位杆（81），所述方形限位杆（81）的上端固定连接有连接杆（82），所述连接杆（82）的纵向杆头上固定连接有顶起块（84），且所述顶起块（84）位于所述掩膜版的正下方，并与所述掩膜版的底部隔开一段距离，所述连接杆（82）的横向杆头上固定连接有驱动杆（83），且所述驱动杆（83）的端头滑动设置在所述波浪形滑槽（43）内腔。

6.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述清洗桶（1）的内腔底部为漏斗形结构，所述清洗桶（1）的底部贴合安装有与外接超声波发生器电性连接的超声波振板（9），所述超声波振板（9）的上端面与所述清洗桶（1）的内腔底部斜面一致。

7.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述动力缸（3）为气缸、电动伸缩杆或液压缸中的任意一种。