[实用新型]一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，涉及到掩膜版Open Mask部件清洗技术领域，包括清洗桶以及安装于所述清洗桶排料管上的阀门，所述清洗桶上固定连接有安装架，且所述安装架上固定连接有动力缸，还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元、与若干个所述放置单元对应设置的若干个顶起单元和同时带动若干个所述顶起单元上下运动的驱动单元。本实用新型结构合理，设置放置单元、驱动单元和顶起单元，可通过驱动单元和顶起单元的配合带动安装在放置单元上的掩膜版进行低速上下运动，可使得掩膜版Open Mask部件外表面能够与清洗液全面接触，可避免对掩膜版Open Mask部件产生清洗死角，有利于对掩膜版的Open Mask部件的彻底清洗。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版Open Mask清洗技术领域，特别涉及一种OLED掩膜版OpenMask表面清洗装置。

背景技术

OLED显示技术作为国际上一种新型的且蓬勃发展的显示技术，尤其是在OLED面板生产过程中的真空蒸镀工艺，是整个OLED工艺制程中的核心和目前的技术发展瓶颈所在。在OLED真空蒸镀工艺中，一般分为有机材料、金属材料和无机化合物材料的蒸镀，其中OLED蒸镀掩膜版Open Mask是该制程的关键治具，该掩膜版用于控制有机材料沉积在玻璃基板上的位置，从而在玻璃基板上形成不同形状的有机图案，用于限定蒸镀范围，长时间使用后掩膜版Open Mask表面会沉积一层镀膜，达到一定厚度后会有脱落风险，从而影响OLED蒸镀的质量，需要定期利用溶剂对掩膜版进行清洗以溶解去除其上镀膜，再利用纯水或离子水清洗去除掩膜版上的溶剂，最后利用烘干箱将掩膜版烘干。

例如专利申请号为 CN201721009862.6 的中国专利公布了一种掩膜版清洗装置，由其内容可知其专利中包含有用于固定掩膜版的掩膜版夹具，该夹具的四角还设有压块，在使用时利用压块将将掩膜版固定在掩膜版夹具上，由此可知，其掩膜版必然与压块以及掩膜版夹具之间存在相贴合的接触面，导致掩膜版上的此接触面无法与清洗液进行很好地接触，将容易导致掩膜版清洗不够彻底，因此，本申请提供了一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置来满足需求。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，设置放置单元、驱动单元和顶起单元，可通过驱动单元和顶起单元的配合带动安装在放置单元上的掩膜版进行低速上下运动，可使得掩膜版Open Mask部件外表面能够与清洗液全面接触，可避免对掩膜版Open Mask部件产生清洗死角，有利于对掩膜版的Open Mask部件的彻底清洗。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，包括清洗桶以及安装于所述清洗桶排料管上的阀门，所述清洗桶上固定连接有安装架，且所述安装架上固定连接有动力缸，还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元、与若干个所述放置单元对应设置的若干个顶起单元和同时带动若干个所述顶起单元上下运动的驱动单元；

所述动力缸的输出端贯穿所述安装架并与所述驱动单元固定连接，所述驱动单元用于带动所述驱动单元、若干个放置单元和若干个放置单元整体进行向下或向上的运动，以方便实现掩膜版做进出清洗液的运动，所述顶起单元配合所述掩膜版自身重力的作用带动所述掩膜版做间隙性的上下运动。

优选的，所述驱动单元包括固定连接于所述动力缸输出端的低速电机，所述低速电机的输出轴下端固定连接有驱动环，所述驱动环的外壁上开设有与所述顶起单元相适配的波浪形滑槽，所述波浪形滑槽首尾相连，所述低速电机的外壳固定连接在用于密封所述清洗桶开口的密封板上，所述低速电机的输出轴穿过所述密封板轴心处设有的通孔，若干个所述若干个放置单元均呈圆周固定连接于所述密封板的下端。