[实用新型]过滤装置和晶体生长装置

权利要求书

1.一种过滤装置，其特征在于，包括：

壳体(10)，所述壳体(10)内具有过滤腔，所述壳体(10)上形成有与所述过滤腔连通的进气口(101)和出气口(102)，所述过滤腔的底部设有排尘口；

过滤件(20)，所述过滤件(20)设于所述过滤腔内且位于所述进气口(101)和所述出气口(102)之间，所述过滤件(20)用于过滤粉尘；

振动机构(30)，所述振动机构(30)适于与所述过滤件(20)相连，所述振动机构(30)用于驱动所述过滤件(20)振动。

2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述振动机构(30)具有振动件，所述振动件在第一位置和第二位置之间可活动，所述振动件在第一位置时与所述过滤件(20)间隔开，所述振动件在所述第二位置时与所述过滤件(20)接触且适于驱动所述过滤件(20)振动。

3.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，还包括：吹扫机构(40)，所述吹扫机构(40)包括吹气管(41)，其中，

所述吹气管(41)的一端伸入所述过滤腔内用于吹扫所述过滤件(20)上的粉尘；或

所述过滤件(20)形成为环形筒状并在内侧限定出气流通道，所述气流通道连通至所述出气口(102)，所述吹气管(41)的一端伸入所述气流通道内用于吹扫所述过滤件(20)上的粉尘。

4.根据权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，还包括：控制器，所述控制器与所述吹扫机构(40)和所述振动机构(30)通讯连接，所述控制器构造成在所述振动机构(30)驱动所述过滤件(20)振动时，控制所述吹气管(41)吹扫所述过滤件(20)。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的过滤装置，其特征在于，所述壳体(10)内设有隔板(11)，所述隔板(11)将所述过滤腔分隔为第一腔和第二腔，所述进气口(101)和所述排尘口均与所述第一腔连通，所述出气口(102)与第二腔连通，

所述过滤件(20)设于所述第一腔内，所述过滤件(20)形成为环形筒状并在内侧限定出气流通道，所述气流通道的出口(201)连通所述第二腔。

6.根据权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤件(20)具有过滤状态和除尘状态，在所述过滤状态，所述过滤件(20)的所述气流通道与所述进气口(101)和所述出气口(102)连通；在所述除尘状态，所述气流通道的出口(201)与所述出气口(102)断开。

7.根据权利要求6所述的过滤装置，其特征在于，所述振动机构(30)驱动所述过滤件(20)振动时封堵所述气流通道的出口(201)。

8.根据权利要求6所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤件(20)包括多个，所述振动机构(30)包括多个，多个所述过滤件(20)与多个所述振动机构(30)一一对应；

所述过滤装置(100)具有过滤模式和除尘模式，在所述过滤模式，多个所述过滤件(20)均为所述过滤状态，

在所述除尘模式，多个所述过滤件(20)均为所述除尘状态，或，一部分所述过滤件(20)为所述除尘状态，其余部分所述过滤件(20)为所述过滤状态。

9.根据权利要求8所述的过滤装置，其特征在于，当所述过滤装置(100)为除尘模式且部分所述过滤件(20)为所述过滤状态时，为所述过滤状态的所述过滤件(20)的数量不少于所述过滤件(20)总数量的六分之一。

10.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，还包括：收集罐(50)，所述收集罐(50)连接在所述排尘口位置用于收集所述排尘口排出的粉尘。

11.一种晶体生长装置，其特征在于，包括：

炉体；

真空泵，所述真空泵与所述炉体连通用于抽吸所述炉体内的气体；

根据权利要求1-10中任一项所述的过滤装置(100)，所述过滤装置(100)串接在所述炉体和所述真空泵之间。