[实用新型]一种工装及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种工装，其特征在于，包括：

底盘结构；和

多个工件安装组件，所述多个工件安装组件沿周向间隔设于所述底盘结构上，每一所述工件安装组件包括间隔设置的至少两安装件，每一所述安装件用于穿过刀具基体的通孔而堆叠所述刀具基体。

2.根据权利要求1所述的工装，其特征在于，每一所述工件安装组件还包括：

连接组件，所述连接组件设于所述底盘结构上，所述连接组件的顶端设有连接部；

支撑件，所述支撑件的底端与所述连接部可拆卸连接；以及

承载盘，所述承载盘与所述支撑件的顶端固定连接；其中，所述至少两安装件设于所述承载盘上。

3.根据权利要求2所述的工装，其特征在于，所述至少两安装件沿周向间隔设置。

4.根据权利要求2所述的工装，其特征在于，所述连接组件包括：

衬底件，所述衬底件设于所述底盘结构上；和

连接座，所述连接座的底端可旋转连接所述衬底件，所述连接座的顶端设有所述连接部，所述连接座的侧面设有传动部，所述传动部用于输入动力而使所述连接座旋转。

5.根据权利要求4所述的工装，其特征在于，所述连接座包括：

齿轮，所述齿轮的轮齿形成所述传动部；和

轴座，所述轴座轴向贯穿所述齿轮、且与所述齿轮固定连接，所述轴座的底端可旋转连接所述衬底件，所述轴座的顶端设有所述连接部。

6.根据权利要求5所述的工装，其特征在于，所述衬底件呈套筒状，所述轴座的底端插入所述衬底件中，所述齿轮的底端设有凹槽，所述凹槽的槽底承载在所述衬底件的顶端上。

7.根据权利要求2至6任意一项所述的工装，其特征在于，所述连接部为阶梯孔。

8.根据权利要求2至6任意一项所述的工装，其特征在于，所述底盘结构包括底盘，所述底盘上开设有沿周向分布的多个安装孔，每一所述连接组件的底端插入一所述安装孔中。

9.根据权利要求8所述的工装，其特征在于，所述底盘的中心设有定位通孔，所述定位通孔的孔壁设有沿轴向延伸的定位部，所述定位部包括至少一定位凸起和至少一定位凹槽，所述定位凹槽与所述定位凸起沿周向交替连接。

10.一种真空镀膜设备，包括：

镀膜腔室；和

工装，所述工装装配于所述镀膜腔室内，其特征在于，所述工装为权利要求1至9任意一项所述的工装。