[实用新型]一种工装及真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202222299086.5 申请日: 2022-08-30
公开(公告)号: CN219195114U 公开(公告)日: 2023-06-16
发明(设计)人: 江毅敏;叶成志;林瑞良;郑鹏;黄宁;王春祥;吴高潮;林亮亮;刘超;陈岱新 申请(专利权)人: 厦门金鹭特种合金有限公司;厦门钨业股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/32
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 刘葛
地址: 361006 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 工装 真空镀膜 设备
【说明书】:

实用新型涉及一种工装及真空镀膜设备,所述工装包括底盘结构和多个工件安装组件,所述多个工件安装组件沿周向间隔设于所述底盘结构上,每一所述工件安装组件包括间隔设置的至少两安装件,每一所述安装件用于穿过刀具基体的通孔而堆叠所述刀具基体。所述工装增加刀具基体的安装数量,而提高单次真空镀膜的刀具基体的数量,进而降低涂层刀具的生产成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,特别是涉及一种工装及真空镀膜设备。

背景技术

涂层刀具是在强度和韧性较好的硬质合金或高速钢基体表面上,利用气相沉积方法涂覆单层或多层复合的耐磨性好的难熔金属或非金属化合物。涂层作为一个化学屏障和热屏障,减少了刀具与工件之间的扩散和化学反应,从而减少了刀具基体的磨损。涂层刀具具有表面硬度高、化学性能稳定、耐热、耐磨、耐氧化、摩擦系数小和热导率低等特性,相比未涂层的刀具,其寿命提升3~5倍以上,切削速度提高20%~70%,加工精度提高0.5~1级。

PVD(物理气相沉积)法是在真空条件下,将化学反应容器内部加热至500℃左右,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发,使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物在被加热的刀具基体的表面沉积形成TiC、TiN、TiCN、Al2O3等单层或多层复合涂层的一种涂层方法。

PVD涂层工序中,刀具基体需借助工装完成真空镀膜。该工装采用穿过刀具基体的通孔而安装刀具基体,然而,该工装能够安装刀具基体的数量有限,导致单次PVD涂层的刀具基体数量也有限,进而造成涂层刀具的生产成本较高。

实用新型内容

基于此,提供一种工装,旨在增加刀具基体的安装数量,而提高单次真空镀膜的刀具基体的数量,进而降低涂层刀具的生产成本。

一种工装,包括:

底盘结构;和

多个工件安装组件,所述多个工件安装组件沿周向间隔设于所述底盘结构上,每一所述工件安装组件包括间隔设置的至少两安装件,每一所述安装件用于穿过刀具基体的通孔而堆叠所述刀具基体。

在其中一个实施例中,每一所述工件安装组件还包括:

连接组件,所述连接组件设于所述底盘结构上,所述连接组件的顶端设有连接部;

支撑件,所述支撑件的底端与所述连接部可拆卸连接;以及

承载盘,所述承载盘与所述支撑件的顶端固定连接;其中,所述至少两安装件设于所述承载盘上。

在其中一个实施例中,所述至少两安装件沿周向间隔设置。

在其中一个实施例中,所述连接组件包括:

衬底件,所述衬底件设于所述底盘结构上;和

连接座,所述连接座的底端可旋转连接所述衬底件,所述连接座的顶端设有所述连接部,所述连接座的侧面设有传动部,所述传动部用于输入动力而使所述连接座旋转。

在其中一个实施例中,所述连接座包括:

齿轮,所述齿轮的轮齿形成所述传动部;和

轴座,所述轴座轴向贯穿所述齿轮、且与所述齿轮固定连接,所述轴座的底端可旋转连接所述衬底件,所述轴座的顶端设有所述连接部。

在其中一个实施例中,所述衬底件呈套筒状,所述轴座的底端插入所述衬底件中,所述齿轮的底端设有凹槽,所述凹槽的槽底承载在所述衬底件的顶端上。

在其中一个实施例中,所述连接部为阶梯孔。

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