[实用新型]一种压差稳定型半导体制造无尘室

权利要求书

1.一种压差稳定型半导体制造无尘室，包括框体(1)，其特征在于：所述框体(1)前端设置有垂帘(3)，述框体(1)一端设置有防静电围帘(2)，所述框体(1)另一端设置有玻璃门(4)，所述框体(1)后端设置有背板(16)，所述框体(1)上端设置有顶板(6)，所述顶板(6)下端设置有粉尘传感器(9)，所述顶板(6)上端前侧设置有警报指示灯(5)，所述顶板(6)上端后侧设置有若干排风机(7)，所述排风机(7)远离警报指示灯(5)的一侧设置有干燥组件(8)；

所述干燥组件(8)包括固定管(81)、固定斗(82)、连接管(83)、支撑板(84)、防尘网(85)、除湿网(86)和电热丝(87)，其中，所述排风机(7)远离警报指示灯(5)的一侧设置有固定管(81)，所述固定管(81)与顶板(6)之间通过支撑板(84)连接，所述固定管(81)靠近顶板(6)的一侧设置有固定斗(82)，所述固定斗(82)与顶板(6)之间通过连接管(83)连接，所述固定管(81)内部一侧设置有防尘网(85)，所述防尘网(85)靠近固定斗(82)的一侧设置有除湿网(86)，所述除湿网(86)的另一侧设置有若干电热丝(87)；

所述顶板(6)下端前侧设置有固定板(10)，所述固定板(10)的两端设置有安装板(11)，所述安装板(11)与顶板(6)之间通过安装螺栓(12)连接，所述固定板(10)下端中间位置设置有烟雾报警器(14)，所述烟雾报警器(14)的一侧设置有湿度传感器(13)，所述烟雾报警器(14)的另一侧设置有温度传感器(15)。

2.根据权利要求1所述的一种压差稳定型半导体制造无尘室，其特征在于：所述防尘网(85)与固定管(81)之间以及除湿网(86)与固定管(81)之间均通过卡合连接，所述固定斗(82)与固定管(81)为焊接一体式结构。

3.根据权利要求1所述的一种压差稳定型半导体制造无尘室，其特征在于：所述连接管(83)与排风机(7)之间以及连接管(83)与固定斗(82)之间均通过法兰连接，所述支撑板(84)与顶板(6)之间以及支撑板(84)与固定管(81)之间均通过点焊焊接。

4.根据权利要求1所述的一种压差稳定型半导体制造无尘室，其特征在于：所述安装板(11)与固定板(10)之间通过压力焊焊接，所述顶板(6)下端设置有与安装螺栓(12)对应的螺纹孔。