[实用新型]一种真空波纹管加热器有效
申请号: | 202222352078.2 | 申请日: | 2022-09-05 |
公开(公告)号: | CN218387968U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 程晋波 | 申请(专利权)人: | 合肥三越半导体科技有限公司 |
主分类号: | H05B3/40 | 分类号: | H05B3/40;H05B3/06;H05B3/02 |
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地址: | 230001 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 波纹管 加热器 | ||
1.一种真空波纹管加热器,其特征在于,包括真空腔体(109),所述真空腔体(109)顶部安装有加热组件(200),加热组件(200)包括密封圈(206),密封圈(206)固定连接在真空腔体(109)上表面,密封圈(206)顶部安装有轴承套(207),轴承套(207)底部螺纹连接有若干个安装螺丝(205),轴承套(207)通过安装螺丝(205)固定在密封圈(206)上,轴承套(207)为中空结构,轴承套(207)内腔顶部安装有卡簧(209),轴承套(207)内腔安装有直线轴承(208),直线轴承(208)内部滑动连接有升降轴(210),升降轴(210)与卡簧(209)相抵接,升降轴(210)与密封圈(206)滑动连接,升降轴(210)底端固定连接有加热器本体(201),密封圈(206)底部固定连接有波纹管(204),波纹管(204)底端固定连接在加热器本体(201)顶部,波纹管(204)设置在升降轴(210)外部,加热器本体(201)内部两侧均固定连接有发热盘(203),加热器本体(201)内部固定连接有热电偶温度传感器(202)。
2.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述真空腔体(109)上表面右侧固定连接有若干个支撑腿(108),支撑腿(108)顶端固定连接有作业台(107),作业台(107)上表面两侧均固定连接有支撑板(104),两个所述支撑板(104)之间转动连接有蜗杆(106),蜗杆(106)右端固定连接有转盘(105),支撑板(104)顶部固定连接有两个固定板(103),两个所述固定板(103)之间转动连接有蜗轮(102),蜗轮(102)与蜗杆(106)相啮合。
3.根据权利要求2所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述升降轴(210)顶端右侧固定连接有齿条(101),齿条(101)与蜗轮(102)相啮合。
4.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述升降轴(210)内部安装有引线,引线的一端连接发热盘(203)。
5.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述波纹管(204)和加热器本体(201)均设置在真空腔体(109)内。
6.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述真空腔体(109)正面安装有透明窗,透明窗用于观测真空腔体(109)内部。
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