[实用新型]一种真空波纹管加热器有效

专利信息
申请号: 202222352078.2 申请日: 2022-09-05
公开(公告)号: CN218387968U 公开(公告)日: 2023-01-24
发明(设计)人: 程晋波 申请(专利权)人: 合肥三越半导体科技有限公司
主分类号: H05B3/40 分类号: H05B3/40;H05B3/06;H05B3/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230001 安徽省合肥市经济技*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 波纹管 加热器
【权利要求书】:

1.一种真空波纹管加热器,其特征在于,包括真空腔体(109),所述真空腔体(109)顶部安装有加热组件(200),加热组件(200)包括密封圈(206),密封圈(206)固定连接在真空腔体(109)上表面,密封圈(206)顶部安装有轴承套(207),轴承套(207)底部螺纹连接有若干个安装螺丝(205),轴承套(207)通过安装螺丝(205)固定在密封圈(206)上,轴承套(207)为中空结构,轴承套(207)内腔顶部安装有卡簧(209),轴承套(207)内腔安装有直线轴承(208),直线轴承(208)内部滑动连接有升降轴(210),升降轴(210)与卡簧(209)相抵接,升降轴(210)与密封圈(206)滑动连接,升降轴(210)底端固定连接有加热器本体(201),密封圈(206)底部固定连接有波纹管(204),波纹管(204)底端固定连接在加热器本体(201)顶部,波纹管(204)设置在升降轴(210)外部,加热器本体(201)内部两侧均固定连接有发热盘(203),加热器本体(201)内部固定连接有热电偶温度传感器(202)。

2.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述真空腔体(109)上表面右侧固定连接有若干个支撑腿(108),支撑腿(108)顶端固定连接有作业台(107),作业台(107)上表面两侧均固定连接有支撑板(104),两个所述支撑板(104)之间转动连接有蜗杆(106),蜗杆(106)右端固定连接有转盘(105),支撑板(104)顶部固定连接有两个固定板(103),两个所述固定板(103)之间转动连接有蜗轮(102),蜗轮(102)与蜗杆(106)相啮合。

3.根据权利要求2所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述升降轴(210)顶端右侧固定连接有齿条(101),齿条(101)与蜗轮(102)相啮合。

4.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述升降轴(210)内部安装有引线,引线的一端连接发热盘(203)。

5.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述波纹管(204)和加热器本体(201)均设置在真空腔体(109)内。

6.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加热器,其特征在于:所述真空腔体(109)正面安装有透明窗,透明窗用于观测真空腔体(109)内部。

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