[实用新型]一种真空波纹管加热器

说明书

本实用新型公开了一种真空波纹管加热器，涉及半导体及真空实验领域，包括真空腔体，所述真空腔体顶部安装有加热组件，加热组件包括密封圈，密封圈固定连接在真空腔体上表面，密封圈顶部安装有轴承套，轴承套底部螺纹连接有若干个安装螺丝，轴承套通过安装螺丝固定在密封圈上，轴承套为中空结构，轴承套内腔顶部安装有卡簧，轴承套内腔安装有直线轴承，直线轴承内部滑动连接有升降轴，升降轴与卡簧相抵接，升降轴与密封圈滑动连接，升降轴底端固定连接有加热器本体，密封圈底部固定连接有波纹管。本实用新型通过设置直线轴承、卡簧、波纹管和升降轴，既能使得加热器本体进行上下移动，又能保证真空腔体内部的密封性。

技术领域

本实用新型涉及半导体及真空实验领域，具体是涉及一种真空波纹管加热器。

背景技术

真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，热处理质量大大提高。但现有的加热器为了保证与真空腔体的密闭性，被固定在真空腔体上，因而难以上下运动，无法根据所需要的位置要求进行精准的定位。

为解决上述问题，有必要提供一种真空波纹管加热器。

实用新型内容

为解决上述技术问题，提供一种真空波纹管加热器，本技术方案解决了上述背景技术中提出的现有的加热器为了保证与真空腔体的密闭性，被固定在真空腔体上，因而难以上下运动，无法根据所需要的位置要求进行精准的定位的问题。

为达到以上目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种真空波纹管加热器，包括真空腔体，所述真空腔体顶部安装有加热组件，加热组件包括密封圈，密封圈固定连接在真空腔体上表面，密封圈顶部安装有轴承套，轴承套底部螺纹连接有若干个安装螺丝，轴承套通过安装螺丝固定在密封圈上，轴承套为中空结构，轴承套内腔顶部安装有卡簧，轴承套内腔安装有直线轴承，直线轴承内部滑动连接有升降轴，升降轴与卡簧相抵接，升降轴与密封圈滑动连接，升降轴底端固定连接有加热器本体，密封圈底部固定连接有波纹管，波纹管底端固定连接在加热器本体顶部，波纹管设置在升降轴外部，加热器本体内部两侧均固定连接有发热盘，加热器本体内部固定连接有热电偶温度传感器。

优选的，所述真空腔体上表面右侧固定连接有若干个支撑腿，支撑腿顶端固定连接有作业台，作业台上表面两侧均固定连接有支撑板，两个所述支撑板之间转动连接有蜗杆，蜗杆右端固定连接有转盘，支撑板顶部固定连接有两个固定板，两个所述固定板之间转动连接有蜗轮，蜗轮与蜗杆相啮合。

优选的，所述升降轴顶端右侧固定连接有齿条，齿条与蜗轮相啮合。

优选的，所述升降轴内部安装有引线，引线的一端连接发热盘。

优选的，所述波纹管和加热器本体均设置在真空腔体内。

优选的，所述真空腔体正面安装有透明窗，透明窗用于观测真空腔体内部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空波纹管加热器，具备以下有益效果：

1、通过设置直线轴承、卡簧、波纹管和升降轴，可以实现加热器本体在真空腔体中的自由上下移动，从而可以根据具体的位置要求，对加热器本体进行上下移动，由于波纹管的伸缩性，波纹管可以随加热器本体的升降而产生形变，始终保持真空腔体内部与外部隔绝，保证真空腔体内部的密封性；

2、通过设置蜗杆、蜗轮、齿条和转盘，能精确控制升降轴升降的幅度，以便配合对加热器本体的具体位置要求，且蜗杆是自锁结构，不会在升降轴的重力作用下转动，升降轴在调整后会自动固定。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的加热组件结构示意图；