[实用新型]一种光刻机镜头保护装置

权利要求书

1.一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体和连接块，所述连接块设置于所述保护装置本体一侧，其特征在于，还包括安装装置；

所述安装装置包括安装框、两个安装组件和辅助固定组件，所述安装框与所述连接块固定连接，并位于所述连接块一侧；两个所述安装组件分别位于所述安装框两侧；所述安装组件包括固定块、转动轴、握把、波形管、抵块、第一弹簧和抵板，所述固定块与所述安装框固定连接，并位于所述安装框侧边；所述转动轴与所述固定块转动连接，并位于所述固定块一侧；所述握把与所述转动轴固定连接，并位于所述转动轴一侧；所述波形管与所述握把固定连接，且与所述安装框固定连接，并位于所述握把与所述安装框之间；所述抵块与所述握把固定连接，并位于所述握把一侧；所述第一弹簧与所述抵块固定连接，并位于所述抵块一侧；所述抵板与所述第一弹簧固定连接，并位于所述第一弹簧远离所述抵块一侧；所述辅助固定组件分别与两个所述握把固定连接，并分别位于所述两个握把一侧。

2.如权利要求1所述的一种光刻机镜头保护装置，其特征在于，

所述辅助固定组件包括两个支撑块、固定框、限位块和两个限位结构，两个所述支撑块分别与两个所述握把固定连接，并分别位于两个所述握把一侧；所述固定框分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧；所述限位块分别与所述固定框固定连接，且分别与两个所述支撑块滑动连接，并位于所述固定框一侧；两个所述限位结构分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧。

3.如权利要求2所述的一种光刻机镜头保护装置，其特征在于，

所述限位结构包括限位板和滚珠，所述限位板分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧；所述滚珠与所述限位板滑动连接，并位于所述限位板一侧。

4.如权利要求1所述的一种光刻机镜头保护装置，其特征在于，

所述安装组件还包括两个防滑垫，两个所述防滑垫分别与两个所述抵板固定连接，并分别位于两个所述抵板一侧。

5.如权利要求1所述的一种光刻机镜头保护装置，其特征在于，

所述安装装置还包括密封圈，所述密封圈与所述安装框固定连接，并位于所述安装框内部。