[实用新型]一种光刻机镜头保护装置

说明书

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体涉及一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体和连接块，安装装置包括安装框、两个安装组件和辅助固定组件，安装组件包括固定块、转动轴、握把、波形管、抵块、第一弹簧和抵板保护装置本体用于保护光刻机镜头，连接块用于连接安装装置，固定块支撑重量转动轴和握把，捏动握把使得握把张开，安装框用将光刻机镜头插入进保护装置本体松开握把，波形管具有良好的韧性以及回弹性，配合转动轴将握把拉回，使得抵块上的第一弹簧和抵板抵住光刻机镜头从而达到固定，捏动握把即可取下保护装置本体，从而解决保护装置在安装和拆卸比较繁琐的问题。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机镜头保护装置。

背景技术

光刻装置主要用于集成电路(IC)或其他微型器件的制造。通过将掩模图形成像于涂覆有光刻胶的晶片，例如半导体或LCD板上。投影物镜曝光对晶片曝光，从而将掩模图形转移到光刻胶上。光刻胶可以分为正光刻胶(正胶)和负光刻胶(负胶)两类，曝光部分被显影剂溶解的光刻胶称为正光刻胶，非曝光部分被显影液溶解的光刻胶称为负光刻胶

现有技术(CN106292192A)公开一种边缘保护装置和光刻机，该边缘保护装置包括：旋转机构，安装在所述光刻机上，且所述旋转机构的旋转中心与光刻机的物镜轴线重合；移动机构，与所述旋转机构的边缘连接，用于调节涂覆保护机构的位置；以及涂覆保护机构，安装在所述移动机构底部，位置与硅片边缘对应，且所述涂覆保护机构与所述硅片边缘软接触。本发明设置有移动机构调节涂覆保护机构的位置，一套硅片边缘保护装置即可实现所有大小的硅片边缘保护；涂覆保护机构与所述硅片边缘软接触，不会发生硅片碰撞，保证硅片质量，降低硅片的报废率。

采用上述方式，保护装置在安装时是直接连接，导致安装和拆卸比较繁琐。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种，旨在解决保护装置在安装时是直接连接，导致安装和拆卸比较繁琐的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体和连接块，所述连接块设置于所述保护装置本体一侧，其特征在于，还包括安装装置；

所述安装装置包括安装框、两个安装组件和辅助固定组件，所述安装框与所述连接块固定连接，并位于所述连接块一侧；两个所述安装组件分别位于所述安装框两侧；所述安装组件包括固定块、转动轴、握把、波形管、抵块、第一弹簧和抵板，所述固定块与所述安装框固定连接，并位于所述安装框侧边；所述转动轴与所述固定块转动连接，并位于所述固定块一侧；所述握把与所述转动轴固定连接，并位于所述转动轴一侧；所述波形管与所述握把固定连接，且与所述安装框固定连接，并位于所述握把与所述安装框之间；所述抵块与所述握把固定连接，并位于所述握把一侧；所述第一弹簧与所述抵块固定连接，并位于所述抵块一侧；所述抵板与所述第一弹簧固定连接，并位于所述第一弹簧远离所述抵块一侧；所述辅助固定组件分别与两个所述握把固定连接，并分别位于所述两个握把一侧。

其中，所述辅助固定组件包括两个支撑块、固定框、限位块和两个限位结构，两个所述支撑块分别与两个所述握把固定连接，并分别位于两个所述握把一侧；所述固定框分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧；所述限位块分别与所述固定框固定连接，且分别与两个所述支撑块滑动连接，并位于所述固定框一侧；两个所述限位结构分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧。

其中，所述限位结构包括限位板和滚珠，所述限位板分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧；所述滚珠与所述限位板滑动连接，并位于所述限位板一侧。

其中，所述安装组件还包括两个防滑垫，两个所述防滑垫分别与两个所述抵板固定连接，并分别位于两个所述抵板一侧。

其中，所述安装装置还包括密封圈，所述密封圈与所述安装框固定连接，并位于所述安装框内部。