[实用新型]超声波测试装置及超声波感应芯片

权利要求书

1.一种超声波测试装置，其特征在于，包括：托盘；

所述托盘具有相对的第一表面和第二表面，所述托盘的第一表面用于与待测试的超声波感应芯片的背面接触；

所述托盘的第一表面与所述超声波感应芯片的背面之间形成有声波阻隔腔，所述声波阻隔腔与所述超声波感应芯片的声学区域一一对应，且所述超声波感应芯片的声学区域在所述第一表面的投影位于所述声波阻隔腔内，以使所述超声波感应芯片的声学区域产生的测试超声波反射回所述超声波感应芯片的声学区域。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述托盘的第一表面朝向第二表面凹陷，以形成所述声波阻隔腔。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述声波阻隔腔贯通所述托盘的第一表面和第二表面。

4.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括抽气设备，所述抽气设备与所述声波阻隔腔连通，以将所述超声波感应芯片吸附于所述托盘的第一表面。

5.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述托盘的第一表面和所述超声波感应芯片之间设置有第一支撑膜层，所述第一支撑膜层设置有与所述超声波感应芯片的声学区域一一对应的第一开口，所述第一开口的侧壁以及与所述第一开口相对的部分所述托盘共同围合形成所述声波阻隔腔。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一支撑膜层的厚度大于1mm。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一支撑膜层固定于所述托盘的第一表面；或者，所述第一支撑膜层被夹设于所述托盘的第一表面和所述超声波感应芯片的背面之间。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一支撑膜层为蓝膜或者无硫纸。

9.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述托盘的第一表面与所述超声波感应芯片的背面之间形成有多个所述声波阻隔腔，所述声波阻隔腔与所述超声波感应芯片上的声学区域中一一对应。

10.一种超声波感应芯片，其特征在于，包括：

衬底，具有相对的第三表面以及第四表面；

器件层，设置于所述衬底的第三表面，且所述器件层包括声学区域以及非声学区域；

所述衬底的第四表面设置有第二支撑膜层，所述第二支撑膜层用于与超声波测试装置的托盘接触；所述第二支撑膜层上设置有第二开口，所述第二开口与所述声学区域一一对应，且所述声学区域在所述第二支撑膜层上的投影位于所述第二开口内；

所述第二开口被配置为和所述托盘共同围合形成声波阻隔腔，所述声波阻隔腔使所述声学区域产生的测试超声波反射回所述声学区域。

11.根据权利要求10所述的芯片，其特征在于，所述第二支撑膜层包括聚偏二氟乙烯膜层、光阻膜层中的至少一种。

12.根据权利要求10所述的芯片，其特征在于，所述第二支撑膜层的厚度大于1mm。

13.根据权利要求10-12任一项所述的芯片，其特征在于，所述器件层具有多个所述声学区域；

所述第二支撑膜层上设置有多个所述第二开口，所述第二开口与所述声学区域一一对应。