[实用新型]一种用于晶圆切割机的镜面盘

权利要求书

1.一种用于晶圆切割机的镜面盘，包括镜面盘本体(1)，其特征在于，还包括开设于镜面盘本体(1)顶端的放置凹槽(3)和安装于放置凹槽(3)内用于根据晶圆大小进行调节的调节结构；

所述调节结构包括：

环形槽一(8)、环形槽二(9)，环形槽一(8)、环形槽二(9)均开设于放置凹槽(3)内壁底端；

环形限位块一(10)、环形限位块二(11)，环形限位块一(10)、环形限位块二(11)分别与环形槽一(8)、环形槽二(9)内壁滑动连接，及

伸缩杆(18)，伸缩杆(18)设有两组，两组伸缩杆(18)分别固定安装于环形限位块一(10)、环形限位块二(11)底端。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆切割机的镜面盘，其特征在于，放置凹槽(3)内壁底端被环形槽一(8)、环形槽二(9)分割为支撑板一(4)、支撑板二(5)、支撑板三(6)，支撑板一(4)、支撑板二(5)底端均固定连接有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)、伸缩杆(18)的底端均与镜面盘本体(1)内壁底端固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆切割机的镜面盘，其特征在于，所述支撑板一(4)、支撑板二(5)、支撑板三(6)上均连接有吸附组件。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆切割机的镜面盘，其特征在于，吸附组件包括：吸附孔(12)，吸附孔(12)设有三组，分别开设于支撑板一(4)、支撑板二(5)及支撑板三(6)的顶端，三组吸附孔(12)底端通过管道分别连接有环形管一(15)、环形管二(16)、环形管三(17)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆切割机的镜面盘，其特征在于，所述镜面盘本体(1)一侧开设有连接口(2)，所述连接口(2)设有三组，三组连接口(2)分别与环形管一(15)输出端、环形管二(16)输出端以及环形管三(17)的输出端连接。

6.根据权利要求4所述的一种用于晶圆切割机的镜面盘，其特征在于，所述吸附孔(12)内壁固定安装有橡胶垫(13)。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆切割机的镜面盘，其特征在于，所述橡胶垫(13)顶端延伸出吸附孔(12)顶端一毫米。