[实用新型]一种用于FOUP污染物检测的取样系统

权利要求书

1.一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：包括取样器，所述取样器通过三通阀分别连接超纯水管路和机械泵管路，所述取样器下方设置有出水管，所述取样器与一XY运动平台配合在FOUP上方移动位置，所述出水管能够插入到FOUP内。

2.根据权利要求1所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述XY运动平台上固定连接有一Z轴驱动单元，所述取样器与Z轴驱动单元的活动端固定配合。

3.根据权利要求2所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述XY运动平台包括相互垂直的第一滑杆和第二滑杆，所述第一滑杆固定在一立柱的上端，所述第二滑杆的一端与第一滑杆滑动配合，第二滑杆上滑动设置有第二滑块，所述Z轴驱动单元跟随第二滑块沿第二滑杆滑动。

4.根据权利要求3所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述Z轴驱动单元与第二滑块转动连接，所述取样器与Z轴驱动单元的活动端转动连接，取样器的转动平面与Z轴驱动单元的转动平面垂直。

5.根据权利要求1所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：还包括防护罩，所述防护罩至少顶部具有遮挡部，所述FOUP放置于遮挡部下方。

6.根据权利要求5所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述遮挡部为矩形隔板或通过矩形框架固定的滤网。

7.根据权利要求1所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：还包括敞口杯，所述取样器能够运动到敞口杯上方。

8.根据权利要求7所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述敞口杯放置于一支撑台上，所述敞口杯下方连接有排水管，所述排水管上设置有阀门。

9.根据权利要求8所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述支撑台包括支撑板和设置于支撑板下方立板，所述敞口杯放置于所述支撑板上，所述立板与支撑板连接的位置通过圆角过渡。

10.根据权利要求8所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述FOUP放置在一上端敞口的箱体内，所述箱体上表面的至少一侧向FOUP外侧延伸形成所述支撑台，所述箱体上设置有将FOUP限制在箱体内的压块。