[实用新型]一种用于FOUP污染物检测的取样系统

说明书

本实用新型提供了一种用于FOUP污染物检测的取样系统，包括取样器，取样器通过三通阀分别连接超纯水管路和机械泵管路，所述取样器下方设置有出水管，所述取样器与一XY运动平台配合在FOUP上方移动位置，所述出水管能够插入到FOUP内。本实用新型通过XY运动平台实现取样器的自动移动，可根据FOUP的结构控制取样器的路径，取样器通过三通分别与超纯水管路到FOUP内，或者将出水管插入到FOUP内机械泵管路连接，从而可以根据需要选择释放超纯水和吸取清洗后的液体，使用一套设备完成注水和吸水两个过程，降低成本，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及一种用于FOUP污染物检测的取样系统。

背景技术

FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)在半导体制程中被用于保护、传送并存储晶圆的一种容器。但随着使用年限之增加，FOUP内部会聚积微污染物，生产中要求定期检测FOUP内壁污染物，确保FOUP洁净度，减少因FOUP脏污引起晶圆表面产生污染和损伤。

目前检测FOUP内壁污染物的方法是先将FOUP清洗干净后，通过瓶子盛装超纯水并冲刷FOUP四壁，盖上FOUP的盖子进行静置，防止静置过程中空气中的颗粒物掉落到FOUP内，静置一段时间后，打开盖子，用注射器抽取FOUP内的超纯水，转移到样品容器内，通过IC(离子色谱分析)和ICP-MS(电感耦合等离子体-质谱分析)等方法分析超纯水中的成分，确定是否存在污染物。

另外，注射器在使用过程中，手套上的水会滴入FOUP内，并且手套也可能会与针头接触，从而会污染FOUP内的水样，导致检测结果不准确。。

公告号为CN206378328U的实用新型专利公开了一种前端开启式晶圆传送盒的内部环境取样装置，通过取样盖封闭FOUP避免环境污染物对检测结果的影响，但是该方案向FOUP 四壁注水清洗的过程依然需要人工完成，手套上沾染的污染物和水依然有可能掉落到FOUP 内，无法完全避免人工操作引入的污染物。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种能够防止引入污染物的FOUP污染物检测取样系统。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的：一种用于FOUP污染物检测的取样系统，包括取样器，取样器通过三通阀分别连接超纯水管路和机械泵管路，所述取样器下方设置有出水管，所述取样器与一XY运动平台配合在FOUP上方移动位置，所述出水管能够插入到FOUP内。

本实用新型通过XY运动平台实现取样器的自动移动，可根据FOUP的结构控制取样器的路径，取样器通过三通分别与超纯水管路和机械泵管路连接，从而可以根据需要选择释放超纯水到FOUP内，或者将出水管插入到FOUP内吸取清洗后的液体，使用一套设备完成注水和吸水两个过程，降低成本，使用方便。

优选的，所述XY运动平台上固定连接有一Z轴驱动单元，所述取样器与Z轴驱动单元的活动端固定配合。

优选的，所述XY运动平台包括相互垂直的第一滑杆和第二滑杆，所述第一滑杆固定在一立柱的上端，所述第二滑杆的至少一端与第一滑杆滑动配合，第一滑杆上滑动设置有第一滑块，第二滑杆的端部与第一滑块固定配合，第二滑杆上滑动设置有第二滑块，所述Z轴驱动单元与第二滑块固定连接。

优选的，取样器包括储水桶和设置于储水桶底部的出水管。

优选的，所述遮挡部底部均匀分布有多个支撑腿。

优选的，所述遮挡部为矩形隔板或通过矩形框架固定的滤网，遮挡部底部的四角位置分别设置有所述的支撑腿。

优选的，所述防护罩下方还放置有敞口杯。

优选的，所述敞口杯放置于一支撑台上，所述敞口杯下方连接有排水管，所述排水管上设置有阀门。