[实用新型]一种高压离子轰击的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202222410626.2 申请日: 2022-09-09
公开(公告)号: CN218059187U 公开(公告)日: 2022-12-16
发明(设计)人: 邓额 申请(专利权)人: 深圳市仲晶科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/54
代理公司: 深圳市育科知识产权代理有限公司 44509 代理人: 李丽洪
地址: 518107 广东省深圳市光明区新湖*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 高压 离子 轰击 真空镀膜
【权利要求书】:

1.一种高压离子轰击的真空镀膜机,包括镀膜机主体(1),其特征在于:所述镀膜机主体(1)的下端固定连接有四个底脚(2),且四个底脚(2)呈左右对称分布,所述镀膜机主体(1)的上内壁与下内壁之间固定连接有两个支柱(3),两个所述支柱(3)的对立端均开设有滑槽(31),两个所述滑槽(31)内均滑动安装有控温组件(4),所述镀膜机主体(1)的下内壁前端固定连接有电机固定台(5)与轴固定架(51),所述电机固定台(5)的上端固定连接有上料组件(6),所述镀膜机主体(1)的下内壁中部固定连接有镀膜装置(8),所述镀膜机主体(1)的后内壁固定连接有定位板(7),所述镀膜机主体(1)的前端可拆卸连接有外壳(9)。

2.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述控温组件(4)包括第一电机(41),所述第一电机(41)的输出端贯穿支柱(3)并固定连接有螺纹杆(42),所述螺纹杆(42)的外表面螺纹连接有螺纹套块(43),所述螺纹套块(43)靠近镀膜机主体(1)的一端固定连接有温控板(44),所述温控板(44)靠近镀膜机主体(1)的一端固定连接有温控管(45)。

3.根据权利要求2所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述螺纹套块(43)的尺寸与滑槽(31)的尺寸相适配,所述温控管(45)呈波浪形结构。

4.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述上料组件(6)包括第二电机(61)与从动轮(64),所述从动轮(64)设置有两个,所述第二电机(61)的输出端固定连接有主动轮(62),所述主动轮(62)的右端固定连接有连轴(63),所述连轴(63)的右端与主动轮(62)固定连接,同侧的主动轮(62)与连轴(63)共同滑动连接有皮带(65),两个所述皮带(65)的上端均卡接有夹块(66),两个所述夹块(66)的上端共同固定连接有平台(67)。

5.根据权利要求4所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述夹块(66)的尺寸与皮带(65)的尺寸相适配,所述连轴(63)与轴固定架(51)转动连接,所述第二电机(61)与电机固定台(5)固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机,其特征在于:所述平台(67)的尺寸与镀膜装置(8)的尺寸相适配,所述平台(67)的后端与定位板(7)的位置相对应。

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