[实用新型]一种高压离子轰击的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括镀膜机主体，镀膜机主体的下端固定连接有四个底脚，且四个底脚呈左右对称分布，镀膜机主体的上内壁与下内壁之间固定连接有两个支柱，两个支柱的对立端均开设有滑槽，两个滑槽内均滑动安装有控温组件，镀膜机主体的下内壁前端固定连接有电机固定台与轴固定架，电机固定台的上端固定连接有上料组件，镀膜机主体的下内壁中部固定连接有镀膜装置，镀膜机主体的后内壁固定连接有定位板，镀膜机主体的前端可拆卸连接有外壳，本实用新型通过设置上料组件，达到自动化上料、省时省力的目的；本实用新型通过设置控温组件，达到主动控温、保证镀膜质量的目的。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，特别涉及一种高压离子轰击的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的真空镀膜机在使用过程中，随着温度越高，晶粒粗大，降低了膜层的硬度，没有控温装置，无法保证真空镀膜机镀膜的质量，降低了真空镀膜机镀膜的效率，且需要人工手动放料，费时费力，不能完全实现自动化。故此，我们提出一种高压离子轰击的真空镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种高压离子轰击的真空镀膜机，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括镀膜机主体，所述镀膜机主体的下端固定连接有四个底脚，且四个底脚呈左右对称分布，所述镀膜机主体的上内壁与下内壁之间固定连接有两个支柱，两个所述支柱的对立端均开设有滑槽，两个所述滑槽内均滑动安装有控温组件，所述镀膜机主体的下内壁前端固定连接有电机固定台与轴固定架，所述电机固定台的上端固定连接有上料组件，所述镀膜机主体的下内壁中部固定连接有镀膜装置，所述镀膜机主体的后内壁固定连接有定位板，所述镀膜机主体的前端可拆卸连接有外壳。

优选的，所述控温组件包括第一电机，所述第一电机的输出端贯穿支柱并固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹套块，所述螺纹套块靠近镀膜机主体的一端固定连接有温控板，所述温控板靠近镀膜机主体的一端固定连接有温控管。

优选的，所述螺纹套块的尺寸与滑槽的尺寸相适配，所述温控管呈波浪形结构。

优选的，所述上料组件包括第二电机与从动轮，所述从动轮设置有两个，所述第二电机的输出端固定连接有主动轮，所述主动轮的右端固定连接有连轴，所述连轴的右端与主动轮固定连接，同侧的主动轮与连轴共同滑动连接有皮带，两个所述皮带的上端均卡接有夹块，两个所述夹块的上端共同固定连接有平台。

优选的，所述夹块的尺寸与皮带的尺寸相适配，所述连轴与轴固定架转动连接，所述第二电机与电机固定台固定连接。

优选的，所述平台的尺寸与镀膜装置的尺寸相适配，所述平台的后端与定位板的位置相对应。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

一、本实用新型通过设置上料组件，通过第二电机带动主动轮旋转，主动轮与从动轮相互配合使皮带向前运动，两根皮带的上端共同固定连接有平台，且在平台的后端设有定位板，防止复位时平台位置偏离，达到自动化上料、省时省力的目的；

二、本实用新型通过设置控温组件，通过启动第一电机，使其输出端带动螺纹杆转动，螺纹杆带动其上螺纹连接的螺纹套块在滑槽内滑动，带动温控板上下运动，达到主动控温、保证镀膜质量的目的。

附图说明

图1为本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机的固定部件的结构示意图；