[实用新型]一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置

权利要求书

1.一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，其特征在于：包括储液箱(100)、清洗箱(200)和热风机(300)，所述清洗箱(200)固定连接在所述储液箱(100)的顶部前侧，所述热风机(300)固定连接在所述储液箱(100)的顶部后侧，所述清洗箱(200)的顶部中间处固定连接有电机(210)，所述电机(210)的动力输出轴底端固定连接有转轴(220)，所述转轴(220)的底端贯穿所述清洗箱(200)并延伸至所述清洗箱(200)的内腔，且固定连接有支架(230)，所述支架(230)的内侧壁之间固定连接有硅片放置架(240)，所述清洗箱(200)的内腔左右侧壁固定连接有超声波发生器(250)。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述储液箱(100)的内侧壁固定连接有过滤板(110)，所述储液箱(100)的右侧壁固定连接有水泵(120)。

3.根据权利要求2所述的一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述水泵(120)的右侧壁固定连接有进水管(121)，所述进水管(121)的末端贯穿所述储液箱(100)并延伸至所述储液箱(100)的内腔，所述水泵(120)的顶部固定连接有出水管(122)，所述出水管(122)的末端固定连接在所述清洗箱(200)的右侧壁上侧。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述储液箱(100)的左侧壁上侧固定连接有连接管(130)，所述连接管(130)的末端固定连接在所述清洗箱(200)的左侧壁下侧。

5.根据权利要求4所述的一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述连接管(130)的外侧壁中间处通过法兰固定连接有阀门(131)。

6.根据权利要求1所述的一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，其特征在于：所述热风机(300)的顶部固定连接有通风管(310)，所述通风管(310)的末端固定连接在所述清洗箱(200)的顶部后侧。