[实用新型]一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置

说明书

本实用新型公开了单晶硅片清洗设备技术领域的一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，包括储液箱、清洗箱和热风机，所述清洗箱固定连接在所述储液箱的顶部前侧，所述热风机固定连接在所述储液箱的顶部后侧，所述清洗箱的顶部中间处固定连接有电机，所述电机的动力输出轴底端固定连接有转轴，所述转轴的底端贯穿所述清洗箱并延伸至所述清洗箱的内腔，且固定连接有支架，所述支架的内侧壁之间固定连接有硅片放置架，所述清洗箱的内腔左右侧壁固定连接有超声波发生器，该大尺寸单晶硅片高效清洗装置，结构设计合理，使得装置可以快速高效的进行清洗，提高工作效率，并且加快大尺寸单晶硅片干燥时间，增加生产效率。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片清洗设备技术领域，具体为一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置。

背景技术

单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

现有的单晶硅片清洗装置都是将单晶硅片放入水槽中冲洗的，直接冲洗很难将单晶硅片清洗干净，需要消耗很长的时间进行慢慢清洗，导致清洗效率低下，并且单晶硅片清洗完成后需要进行晾干，而自然晾干所需时间较长，会严重影响到单晶硅片的生产效率，为此我们提出了一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，以解决上述背景技术中提出了清洗时间长和晾干时间长的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，包括储液箱、清洗箱和热风机，所述清洗箱固定连接在所述储液箱的顶部前侧，所述热风机固定连接在所述储液箱的顶部后侧，所述清洗箱的顶部中间处固定连接有电机，所述电机的动力输出轴底端固定连接有转轴，所述转轴的底端贯穿所述清洗箱并延伸至所述清洗箱的内腔，且固定连接有支架，所述支架的内侧壁之间固定连接有硅片放置架，所述清洗箱的内腔左右侧壁固定连接有超声波发生器。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储液箱的内侧壁固定连接有过滤板，所述储液箱的右侧壁固定连接有水泵。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述水泵的右侧壁固定连接有进水管，所述进水管的末端贯穿所述储液箱并延伸至所述储液箱的内腔，所述水泵的顶部固定连接有出水管，所述出水管的末端固定连接在所述清洗箱的右侧壁上侧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储液箱的左侧壁上侧固定连接有连接管，所述连接管的末端固定连接在所述清洗箱的左侧壁下侧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述连接管的外侧壁中间处通过法兰固定连接有阀门。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述热风机的顶部固定连接有通风管，所述通风管的末端固定连接在所述清洗箱的顶部后侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该大尺寸单晶硅片高效清洗装置，通过启动电机，使得电机通过转轴带动支架进行旋转，通过支架带动硅片放置架旋转，使大尺寸单晶硅片在清洗液中进行转动清洗，通过转动可以增加装置的清洗效果，再通过超声波发生器发出超声波，使得超声波产生振动进一步提高清洗效果，从而使得装置可以快速高效的进行清洗，提高工作效率。

2、该大尺寸单晶硅片高效清洗装置，通过打开连接管上的阀门，使得清洗箱中的清洗液全部流到储液箱中，再通过启动热风机，使其产出热气对硅片放置架上的大尺寸单晶硅片进行烘干，从而加快大尺寸单晶硅片干燥时间，增加生产效率。

附图说明