[实用新型]一种适用于芯片粘结定位的辅助工装有效
申请号: | 202222458349.2 | 申请日: | 2022-09-16 |
公开(公告)号: | CN218299763U | 公开(公告)日: | 2023-01-13 |
发明(设计)人: | 周涛;常跃文 | 申请(专利权)人: | 沈阳鑫芯微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;B08B5/04 |
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地址: | 110000 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 芯片 粘结 定位 辅助 工装 | ||
1.一种适用于芯片粘结定位的辅助工装,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的顶部左右两侧均固定连接有支撑板(2),所述支撑板(2)的内部前后两侧通孔内均滑动连接有固定杆(3),所述固定杆(3)的一端分别固定连接在固定夹板(5)的一侧前后两端,所述固定杆(3)位于支撑板(2)和固定夹板(5)之间的外径上均设置有弹簧(4),所述固定杆(3)的另一端分别固定连接在连接板(7)的一侧前后两端,所述连接板(7)的内部中心处螺纹连接有螺纹杆(8),所述工作台(1)的后侧设置有电动滑轨(11),所述电动滑轨(11)的后侧从左向右依次滑动连接有滑板一(12)和滑板二(13),所述滑板一(12)的后侧凹槽内固定连接有安装板一(14),所述工作台(1)的底部后端中心处固定连接有集尘箱(18),所述集尘箱(18)的后侧顶端固定连接有伸缩软管(19),所述伸缩软管(19)的一端固定连接在吸尘风机(20)的出料端,所述吸尘风机(20)的进料端固定连接在吸尘管(21)的一端,所述滑板二(13)的后侧凹槽内固定连接有安装板二(15)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于芯片粘结定位的辅助工装,其特征在于:所述电动滑轨(11)和吸尘风机(20)均与控制面板(10)电性连接,所述控制面板(10)的左侧固定连接在工作台(1)的右侧。
3.根据权利要求1所述的一种适用于芯片粘结定位的辅助工装,其特征在于:所述螺纹杆(8)的一端转动连接在支撑板(2)的一侧,所述螺纹杆(8)的另一端均固定连接有转盘(9)。
4.根据权利要求1所述的一种适用于芯片粘结定位的辅助工装,其特征在于:所述弹簧(4)的一端固定连接在固定夹板(5)的一侧,所述弹簧(4)的另一端固定连接在支撑板(2)的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种适用于芯片粘结定位的辅助工装,其特征在于:所述吸尘风机(20)的前侧固定连接在安装板一(14)的后侧。
6.根据权利要求1所述的一种适用于芯片粘结定位的辅助工装,其特征在于:所述安装板一(14)的顶部内壁上固定连接有吸尘管(21),所述吸尘管(21)的一侧固定连接有多个吸尘头(22)。
7.根据权利要求1所述的一种适用于芯片粘结定位的辅助工装,其特征在于:所述安装板二(15)的顶部前侧固定连接有气缸(16),所述气缸(16)的底端设置有加工器械机构(17)。
8.根据权利要求1所述的一种适用于芯片粘结定位的辅助工装,其特征在于:所述固定夹板(5)的内侧均固定连接有橡胶垫(6),所述固定夹板(5)和橡胶垫(6)的底部均滑动连接在工作台(1)的顶部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造