[实用新型]一种量子芯片加工用夹具有效
| 申请号： | 202222466532.7 | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN218203016U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 量子 芯片 工用 夹具 | ||
1.一种量子芯片加工用夹具，用于装夹衬底和掩模，其特征在于，所述量子芯片加工用夹具包括：
第一夹持元件(1)，所述第一夹持元件(1)用于固定所述衬底；
第二夹持元件(2)，所述第二夹持元件(2)用于固定所述掩模；
其中，所述第一夹持元件(1)与所述第二夹持元件(2)固定连接，所述衬底与所述掩模层叠设置。
2.如权利要求1所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述第一夹持元件(1)包括承载台(11)，所述承载台(11)的表面开设有用于容纳所述衬底的凹槽(12)。
3.如权利要求2所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述凹槽(12)的深度大于或等于所述衬底的厚度。
4.如权利要求3所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述承载台(11)上设置有夹持块(13)，所述夹持块(13)用于固定所述衬底。
5.如权利要求4所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述承载台(11)上开设有滑槽，所述滑槽与所述凹槽(12)连通，所述夹持块(13)滑动设置于所述滑槽内。
6.如权利要求5所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述夹持块(13)的厚度小于或等于所述滑槽的深度。
7.如权利要求1－6任一项所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述第二夹持元件(2)包括固定框(21)以及与所述固定框(21)可拆卸连接的压板(22)，所述掩模安装于所述固定框(21)与所述压板(22)之间。
8.如权利要求7所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述固定框(21)朝向所述压板(22)的一面开设有容置槽，所述容置槽用于放置所述掩模。
9.如权利要求8所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述掩模的厚度大于所述容置槽的深度。
10.如权利要求1所述的量子芯片加工用夹具，其特征在于，所述固定连接采用可拆卸连接。
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