[实用新型]一种量子芯片加工用夹具

说明书

本申请公开了一种量子芯片加工用夹具，用于装夹衬底和掩模，所述量子芯片加工用夹具包括第一夹持元件，所述第一夹持元件用于固定所述衬底；以及，第二夹持元件，所述第二夹持元件用于固定所述掩模；其中，所述第一夹持元件与所述第二夹持元件固定连接，所述衬底与所述掩模层叠设置。本申请中，通过设置第一夹持元件、第二夹持元件，分别对衬底和掩模进行夹持，使衬底和掩模分别保持固定，并且，所述第一夹持元件与第二夹持元件固定连接，从而使得衬底和掩模能够保持相对固定，避免在量子芯片加工过程中衬底与掩模产生相对位移，从而有效保证了量子芯片生产的良品率。

技术领域

本申请属于量子计算技术领域，特别是一种量子芯片加工用夹具。

背景技术

量子计算机是一类遵循量子力学规律进行高速数学和逻辑运算、存储及处理量子信息的物理装置。量子计算机的特点主要有运行速度较快、处置信息能力较强、应用范围较广等。与一般计算机比较起来，信息处理量愈多，对于量子计算机实施运算也就愈加有利，也就更能确保运算具备精准性。

量子芯片是量子计算机的核心部件，量子芯片在加工过程中，采用蒸镀工艺，在以硅片或蓝宝石等材质的衬底上，利用图形化的掩模获得量子电路以及量子器件，从而获得具有量子信息处理功能的量子芯片。

然而，在量子芯片实际加工过程中，衬底与掩模难以得到有效固定，衬底与掩模容易产生相对位移，导致量子芯片成品合格率低下。

需要说明的是，公开于本申请背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本申请一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种量子芯片加工用夹具，以解决现有技术中的不足，它提供了一种用于装夹衬底和掩模的量子芯片加工用夹具。

本申请的一个实施例提供了一种量子芯片加工用夹具，用于装夹衬底和掩模，所述量子芯片加工用夹具包括：

第一夹持元件，所述第一夹持元件用于固定所述衬底；

第二夹持元件，所述第二夹持元件用于固定所述掩模；

其中，所述第一夹持元件与所述第二夹持元件固定连接，所述衬底与所述掩模层叠设置。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述第一夹持元件包括承载台，所述承载台的表面开设有用于容纳所述衬底的凹槽。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述凹槽的深度大于或等于所述衬底的厚度。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述承载台上设置有夹持块，所述夹持块用于固定所述衬底。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述承载台上开设有滑槽，所述滑槽与所述凹槽连通，所述夹持块滑动设置于所述滑槽内。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述夹持块的厚度小于或等于所述滑槽的深度。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述第二夹持元件包括固定框以及与所述固定框可拆卸连接的压板，所述掩模安装于所述固定框与所述压板之间。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述固定框朝向所述压板的一面开设有容置槽，所述容置槽用于放置所述掩模。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述掩模的厚度大于所述容置槽的深度。

如上所述的量子芯片加工用夹具，其中，所述固定连接采用可拆卸连接。