[实用新型]一种量子芯片加工工装

说明书

本申请公开了一种量子芯片加工工装，包括承载台，所述承载台用于承载衬底；还包括用于固定掩模的固定元件，所述掩模与所述衬底层叠设置；以及调节组件，所述调节组件分别与所述固定元件和所述承载台连接，用于调节所述掩模与所述衬底的相对位置。本申请中，通过设置承载台承载衬底，通过设置固定元件使掩模保持固定，所述调节组件分别与所述固定元件和所述承载台连接，利用调节组件可以方便地调节承载台与固定元件的相对位置，从而能够准确便捷地调节掩模与衬底的相对位置，避免在加工过程中衬底与掩模相互错位，从而提高量子芯片成品的合格率。

技术领域

本申请属于量子计算技术领域，特别是一种量子芯片加工工装。

背景技术

量子计算机是一类遵循量子力学规律进行高速数学和逻辑运算、存储及处理量子信息的物理装置。量子计算机的特点主要有运行速度较快、处置信息能力较强、应用范围较广等。与一般计算机比较起来，信息处理量愈多，对于量子计算机实施运算也就愈加有利，也就更能确保运算具备精准性。

量子芯片是量子计算机的核心部件，量子芯片在加工过程中，采用蒸镀工艺，在以硅片或蓝宝石等材质的衬底上，利用图形化的掩模获得量子电路以及量子器件，从而获得具有量子信息处理功能的量子芯片。

然而，在量子芯片实际加工过程中，衬底与掩模的相对位置调节不便，在调节过程中衬底与掩模极易错位，导致量子芯片成品合格率低下。

需要说明的是，公开于本申请背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本申请一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种量子芯片加工工装，以解决现有技术中的不足，它提供了一种便于调节的量子芯片加工工装。

本申请的一个实施例提供了一种量子芯片加工工装，包括：

承载台，所述承载台用于承载衬底；

用于固定掩模的固定元件，所述掩模与所述衬底层叠设置；

调节组件，所述调节组件分别与所述固定元件和所述承载台连接，用于调节所述掩模与所述衬底的相对位置。

如上所述的量子芯片加工工装，其中，所述调节组件包括：

与所述固定元件连接的角度调节机构，用于调节所述掩模与所述衬底的平行度；

与所述角度调节机构连接的平面调节机构，在水平面内调节所述掩模相对于所述衬底的位置；

与所述承载台连接的距离调节机构，用于调节所述衬底与所述掩模的间距。

如上所述的量子芯片加工工装，其中，所述角度调节机构包括层叠设置的第一摆动滑台、第二摆动滑台，所述第一摆动滑台与所述第二摆动滑台呈十字交叉设置，所述第一摆动滑台与所述固定元件连接，所述第二摆动滑台与所述平面调节机构连接。

如上所述的量子芯片加工工装，其中，所述平面调节机构包括XY轴滑台，所述XY轴滑台与所述第二摆动滑台背离所述第一摆动滑台的一侧连接。

如上所述的量子芯片加工工装，其中，所述距离调节机构包括升降滑台，所述升降滑台与所述承载台连接，所述升降滑台的升降方向垂直于所述XY轴滑台所在的平面。

如上所述的量子芯片加工工装，其中，还包括旋转滑台，所述旋转滑台设置于所述升降滑台与所述承载台之间。

如上所述的量子芯片加工工装，其中，还包括比较仪，所述比较仪位于掩模的上方，所述衬底与所述掩模上对应设置有标记点，所述比较仪利用所述标记点校准所述衬底与所述掩模的相对位置。

如上所述的量子芯片加工工装，其中，所述承载台上具有用于容纳所述衬底的凹槽。