[实用新型]一种氯硅烷杂质检测的前处理装置有效
| 申请号： | 202222467636.X | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN218725913U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 武红元;李日红;侯海波;李向东;袁中华;何鹏 | 申请（专利权）人： | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 潘涛 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 杂质 检测 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种氯硅烷杂质检测的前处理装置，其特征在于：包括加热装置（1），所述加热装置（1）上设置有用于放置氯硅烷的盛放装置（2），所述盛放装置（2）上方设置有石英罩（3），所述石英罩（3）与出气管（4）相连，所述出气管（4）与氢氟酸吸收装置（5）相连。
2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷杂质检测的前处理装置，其特征在于：所述氢氟酸吸收装置（5）通过连接管（6）与尾气吸收装置（7）相连。
3.根据权利要求2所述的一种氯硅烷杂质检测的前处理装置，其特征在于：所述尾气吸收装置（7）上还设置有放空管（8）。
4.根据权利要求1或3所述的一种氯硅烷杂质检测的前处理装置，其特征在于：所述石英罩（3）上还设置有进气管（9），所述进气管（9）与惰性气体气瓶（10）相连。
5.根据权利要求4所述的一种氯硅烷杂质检测的前处理装置，其特征在于：所述进气管（9）上设置有进气阀（11）。
6.根据权利要求5所述的一种氯硅烷杂质检测的前处理装置，其特征在于：所述盛放装置（2）采用烧杯或敞口烧瓶。
7.根据权利要求6所述的一种氯硅烷杂质检测的前处理装置，其特征在于：所述加热装置（1）采用电加热器。
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