[实用新型]一种晶圆片传送装置有效
| 申请号： | 202222469168.X | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN218087863U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 顾少俊;耿伟;周航;余珺 | 申请（专利权）人： | 鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 南通亿旸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32578 | 代理人： | 杨利娟 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 传送 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆片传送装置，包括底座（1），所述底座（1）上设有安装架（2），其特征在于：所述安装架（2）内设有伺服电机，所述安装架（2）上设有多个机械臂（3），每个所述机械臂（3）端部均设有传送机构（4），所述传送机构（4）包括安装件（41），所述安装件（41）下设有连杆（42），所述连杆（42）下设有吸盘箍（43），所述吸盘箍（43）内设有通气管（44），所述通气管（44）下设有双层支管（45），所述双层支管（45）下设有双层吸盘（46）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片传送装置，其特征在于：所述双层吸盘（46）包括内吸盘（47），所述内吸盘（47）外设有外吸盘（48）。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片传送装置，其特征在于：每个所述传送机构（4）之间由连接管（5）串联，所述连接管（5）穿过吸盘箍（43）连接至通气管（44），所述连接管（5）的一端设有气阻盖（51）、另一端连接至抽气泵（6），所述抽气泵（6）放置于底座（1）上。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片传送装置，其特征在于：所述底座（1）下设有多个万向轮（7），每个所述万向轮（7）上均设有刹车片（71）。
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