[实用新型]一种晶圆片传送装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆片传送装置，包括底座，所述底座上设有安装架，所述安装架内设有伺服电机，所述安装架上设有多个机械臂，每个所述机械臂端部均设有传送机构，所述传送机构包括安装件，所述安装件下设有连杆，所述连杆下设有吸盘箍，所述吸盘箍内设有通气管，所述通气管下设有双层支管，所述双层支管下设有双层吸盘；本实用新型结构简单，设计新颖，提高了晶圆片的传送效率和生产效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆片传送技术领域，具体为一种晶圆片传送装置。

背景技术

晶圆片在生产过程中需要将晶圆片从一个生产流程中传送至另一个生产流程中，现有的传送装置多为一个机械臂传送，传送效率较低，且传送装置与晶圆片的接触面积不宜过大，导致传送装置与晶圆片之间的吸力不够大，所以机械臂传送速度不能过快，以免造成晶圆片的掉落，以致晶圆片成产效率受到影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆片传送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片传送装置，包括底座，所述底座上设有安装架，所述安装架内设有伺服电机，所述安装架上设有多个机械臂，每个所述机械臂端部均设有传送机构，所述传送机构包括安装件，所述安装件下设有连杆，所述连杆下设有吸盘箍，所述吸盘箍内设有通气管，所述通气管下设有双层支管，所述双层支管下设有双层吸盘。

优选的，所述双层吸盘包括内吸盘，所述内吸盘外设有外吸盘。

优选的，每个所述传送机构之间由连接管串联，所述连接管穿过吸盘箍连接至通气管，所述连接管的一端设有气阻盖、另一端连接至抽气泵，所述抽气泵放置于底座上。

优选的，所述底座下设有多个万向轮，每个所述万向轮上均设有刹车片。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，设置多个机械臂，在每个机械臂下均设置传送机构，使每个传送机构轮流工作，提高了工作效率；

传送机构下的吸盘为双层吸盘结构，在保证吸盘与晶圆片接触面积较小的同时，可增大吸盘对晶圆片的吸力，使传送机构的工作速度可适当提升，提高晶圆片的生产效率。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型中传送机构示意图；

图3为本实用新型中传送机构剖视图；

图4为本实用新型中双层吸盘示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆片传送装置，包括底座1，所述底座1上设有安装架2，所述安装架2内设有伺服电机，所述安装架2上设有多个机械臂3，所述伺服电机可调整旋转速度以及角度，以完成对各个机械臂的控制，每个所述机械臂3的端部均设有传送机构4，所述传送机构4包括安装件41，所述安装件41通过旋钮连接于机械臂3端部，所述安装件41下设有连杆42，所述连杆42下设有吸盘箍43，所述吸盘箍43内设有通气管44，所述通气管44下连接有双层支管45，所述双层支管45下设有双层吸盘46。

本实施例中，所述双层吸盘46包括内吸盘47，所述内吸盘47外设有外吸盘48，所述双层支管的内外两层分别与内吸盘47、外吸盘48相连。