[实用新型]一种晶棒检测装置及设有该检测装置的自动检测机构

权利要求书

1.一种晶棒检测装置，其特征在于，包括安装台和探针，在所述安装台的一侧设有安装座，在所述安装座远离所述安装台的一侧面还设有垫片，所述探针凸设于所述垫片并连接在所述安装座上；所述垫片被构造为柔性结构。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒检测装置，其特征在于，所述安装座靠近所述垫片一端被构造为锥台面，其小径端与所述垫片连接；

若干所述探针并排沿所述垫片的直径布置；

在所述安装台远离所述垫片一侧还设有阶梯柱。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶棒检测装置，其特征在于，在所述安装台与所述安装座之间还设有连接柱，所述连接柱与所述安装台和所述安装座可拆卸连接；

在所述连接柱内腔中构置有弹性件，所述弹性件的一端与所述安装台连接，另一端与所述安装座连接；

在所述连接柱的外壁面还套设有壁环。

4.一种晶棒自动检测机构，其特征在于，配置有如权利要求1-3任一项所述的检测装置，还包括检测部，所述检测部中至少设有一组用于固定所述检测装置的检测臂，所述检测臂可带动所述检测装置双侧交替或单侧连续地对晶棒端面进行检测。

5.根据权利要求4所述的一种晶棒自动检测机构，其特征在于，所述检测部还包括架梁、沿第一方向移动的移道一和沿第二方向移动的移道二；

所述检测臂一端与所述移道一连接；

所述移道一设置在所述架梁上；

所述移道二与所述架梁交叉连接。

6.根据权利要求4或5所述的一种晶棒自动检测机构，其特征在于，还包括对接部，所述对接部中设有支撑组一和支撑组二，所述支撑组一和所述支撑组二均与晶棒外径面部分触点，且所述支撑组一与所述支撑组二可互换地用于顶托晶棒，且所述支撑组二可以第一方向为轴线进行旋转。

7.根据权利要求6所述的一种晶棒自动检测机构，其特征在于，所述支撑组一被配置在所述支撑组二内侧，且所述支撑组一可沿第二方向进行活动。

8.根据权利要求6所述的一种晶棒自动检测机构，其特征在于，所述对接部还包括沿第三方向设置的移道三、与所述移道三连接的定板一和置于所述移道三之间的定板二；

所述定板一和所述定板二分置于所述移道三的两端，且所述支撑组一和所述支撑组二均设置在所述定板一上；

在所述定板一和所述定板二之间还设有连接件，所述连接件可带动所述定板一朝靠近所述定板二一侧移动。

9.根据权利要求7或8所述的一种晶棒自动检测机构，其特征在于，还包括移栽部，所述移栽部包括移置组和移道四；

所述移置组用于顶托晶棒并带动晶棒沿所述移道四移动至所述对接部，并与所述支撑组一交接晶棒；

所述移置组可沿第一方向活动并可沿第三方向伸缩；

所述移道四靠近所述支撑组一且沿所述第一方向设置。

10.根据权利要求9所述的一种晶棒自动检测机构，其特征在于，在所述对接部的一侧还设有与所述移栽部对接的传输部，所述传输部配置有沿第三方向活动的传送件。