[实用新型]一种晶棒检测装置及设有该检测装置的自动检测机构

说明书

本实用新型提供一种晶棒检测装置，包括安装台和探针，在所述安装台的一侧设有安装座，在所述安装座远离所述安装台的一侧面还设有垫片，所述探针凸设于所述垫片并连接在所述安装座上；所述垫片被构造为柔性结构。本实用新型一种晶棒检测装置，结构简单，其探头具有浮动功能，可缓冲探头与晶棒端面触点的冲击力，而且还可确保探头上的探针在测量时始终与晶棒的端面保持垂直；还可延长探头的使用寿命。本实用新型还提出一种设有该检测装置的自动检测机构。

技术领域

本实用新型属于硅晶棒加工技术领域，尤其是涉及一种晶棒检测装置及设有该检测装置的自动检测机构。

背景技术

电阻率是晶棒的重要技术参数指标，其直接影响整颗晶棒的质量，一旦电阻率测试有误，整颗晶棒就会直接报废。

现有检测仪使用的探头中，探针极易被折断，因需要控制探针直接与晶棒端面触点，由于探针直接与本体固定，减震效果差，被晶棒的反作用力弹回后就出现崩裂。一旦出现折裂，导致测量触点面虚，无法准确获得测量数据，需要多次按压触点后才能获得测量结果，费时费力。

还有，现有电阻率的测试主要是通过人工搬运晶棒到特定工位处，再手动操作电阻率测试仪对晶棒的端面进行多点式触点检测，再手动记录并对其进行计算，最终获得电阻率的计算值。

人工操作测试仪的方式是基于人员的技术水平和专业素养，不同人测试的结果不一样，而且稳定性差。而且，现有晶棒都是外径尺寸越来越大，如8寸、12寸、18寸等；且目前常用的大尺寸晶棒直径为12寸，这种晶棒体型较大，人工搬运不方便，危险系数高。

在人工测试时还要对晶棒的端部进行画图定测试点，因为现有电阻率测试常用的方法是五点法或九点法，需要对不同径面圆上取点进行测试，在取点时需要手动画圆取点，不仅速度慢而且取点因人而异，最终导致测量结果会有偏差，直接影响最终的测试结果。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶棒检测装置及设有该检测装置的自动检测机构，主要对晶棒的电阻率进行检测，解决了现有技术中由于检测仪结构设计不合理导致测量效果不稳定的技术问题、以及人工检测方式导致的测量精度一致性差、测试效率低、搬运不方便的技术问题。

为解决至少一个上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种晶棒检测装置，包括安装台和探针，在所述安装台的一侧设有安装座，在所述安装座远离所述安装台的一侧面还设有垫片，所述探针凸设于所述垫片并连接在所述安装座上；所述垫片被构造为柔性结构。

进一步的，所述安装座靠近所述垫片一端被构造为锥台面，其小径端与所述垫片连接；

若干所述探针并排沿所述垫片的直径布置；

在所述安装台远离所述垫片一侧还设有阶梯柱。

进一步的，在所述安装台与所述安装座之间还设有连接柱，所述连接柱与所述安装台和所述安装座可拆卸连接；

在所述连接柱内腔中构置有弹性件，所述弹性件的一端与所述安装台连接，另一端与所述安装座连接；

在所述连接柱的外壁面还套设有壁环。

一种晶棒自动检测机构，配置有如上所述的检测装置，还包括检测部，所述检测部中至少设有一组用于固定所述检测装置的检测臂，所述检测臂可带动所述检测装置双侧交替或单侧连续地对晶棒端面进行检测。

进一步的，所述检测部还包括架梁、沿第一方向移动的移道一和沿第二方向移动的移道二；

所述检测臂一端与所述移道一连接；

所述移道一设置在所述架梁上；

所述移道二与所述架梁交叉连接。