[实用新型]一种晶棒拆码垛组件

权利要求书

1.一种晶棒拆码垛组件，其特征在于，包括：拆码垛机械装置以及容纳晶棒的周转箱；所述拆码垛机械装置移动轴前端设置一兼容性夹爪，所述兼容性夹爪包括设置在支撑架上夹取所述晶棒的晶棒夹具以及夹取所述周转箱的周转箱夹具，且所述晶棒夹具与所述周转箱夹具不相互重叠。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒拆码垛组件，其特征在于：所述晶棒夹具设置在所述支撑架靠近所述晶棒的一侧，其包括夹取所述晶棒的夹取盘、连接所述夹取盘至所述支撑架的连接件以及控制所述夹取盘移动的动力件；其中，所述连接件可移动的设置在所述支撑架上。

3.根据权利要求2所述的一种晶棒拆码垛组件，其特征在于：所述晶棒夹具对称设置在所述支撑架的两侧，所述动力件控制两侧的所述夹取盘相对或相向移动夹取所述晶棒，所述连接件随所述夹取盘共同移动。

4.根据权利要求3所述的一种晶棒拆码垛组件，其特征在于：在所述夹取盘上接触所述晶棒的一侧设置一对射传感器，感应两侧的所述夹取盘是否夹取所述晶棒。

5.根据权利要求2或3所述的一种晶棒拆码垛组件，其特征在于：所述动力件为气缸或电机。

6.根据权利要求1所述的一种晶棒拆码垛组件，其特征在于：所述周转箱夹具设置在所述支撑架的两侧，其包括可旋转的连接在所述支撑架上的周转箱夹爪以及旋转动力件，所述旋转动力件能够控制所述周转箱夹爪的旋转角度，夹取所述周转箱。

7.根据权利要求6所述的一种晶棒拆码垛组件，其特征在于：所述周转箱夹爪设置为4个，每两个一组分别设置在所述支撑架的两侧，且一组通过连杆进行连接，所述连杆能够使两个所述周转箱夹爪同步旋转；

当抓取时，两侧的两组所述周转箱夹爪相向旋转，稳定的夹取所述周转箱后进行移动。

8.根据权利要求1所述的一种晶棒拆码垛组件，其特征在于：所述周转箱包括箱体以及容置在所述箱体内部的内衬，其中，所述内衬设置至少一个匹配所述晶棒形状的凹槽，可容纳所述晶棒。

9.根据权利要求8所述的一种晶棒拆码垛组件，其特征在于：在所述移动轴靠近所述兼容性夹爪的一侧设置一检测所述晶棒是否对准所述凹槽内部的视觉传感器。