[实用新型]一种芯片无划伤侧试装置有效
申请号: | 202222493833.9 | 申请日: | 2022-09-20 |
公开(公告)号: | CN218677045U | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 贾扬帆;侯文;王强;金永斌;贺涛;丁宁;朱伟 | 申请(专利权)人: | 法特迪精密科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/687 |
代理公司: | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人: | 刘小彦 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 划伤 试装 | ||
1.一种芯片无划伤侧试装置,包括测试座(1)和上盖(2),所述测试座(1)和所述上盖(2)铰接,其特征在于,还包括浮动平台(3),所述浮动平台(3)设置在所述测试座(1)上方,并且通过弹簧(32)和所述测试座(1)连接,所述浮动平台(3)上设置有凹槽(33),所述凹槽(33)用于放置芯片(7),还包括和所述浮动平台(3)连接的定位机构(4),所述定位机构(4)和所述凹槽的侧壁能对芯片(7)进行夹持固定。
2.根据权利要求1所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,所述定位机构(4)包括定位板(41),所述定位板(41)和所述浮动平台(3)固定连接,所述定位板(41)内设置有横向通道(411),所述横向通道(411)内设置有定位组件(43),所述定位组件(43)能沿着所述横向通道(411)运动。
3.根据权利要求2所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,所述定位组件(43)包括滑动轨道(432),所述滑动轨道(432)和所述定位板(41)连接,在所述滑动轨道(432)靠近芯片(7)的一端设置有夹紧块(433),通过所述凹槽(33)的侧壁和夹紧块(433)对芯片(7)进行夹持。
4.根据权利要求3所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,所述夹紧块(433)设置有两个,并且两个夹紧块(433)的夹角和芯片(7)相邻两条侧边的夹角相等。
5.根据权利要求4所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,所述定位机构(4)还包括浮动框架(42),所述定位板(41)上设置有纵向通道(412),所述浮动框架(42)设置在所述纵向通道(412)内,所述浮动框架(42)能在所述纵向通道(412)内上下移动,并且在所述浮动框架(42)上下移动过程中带动所述定位组件(43)向芯片(7)方向靠近或远离。
6.根据权利要求5所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,所述浮动框架(42)为“凵”形,所述浮动框架(42)包括浮动下压板(421)和浮动导向板(422),所述浮动导向板(422)上设置有导向孔(4221),所述定位组件(43)包括还定位杆(431),所述滑动轨道(432)上设置有定位通孔,所述定位杆(431)穿过所述定位通孔,并且所述定位杆(431)的两端设置在所述导向孔(4221)内,所述定位杆(431)能沿着所述导向孔(4221)的内壁移动,所述定位杆(431)在移动过程中带动所述滑动轨道(432)运动。
7.根据权利要求6所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,所述横向通道(411)的内壁上设置有条形凹槽(4111),所述条形凹槽(4111)和所述横向通道(411)的方向一致,所述条形凹槽(4111)内设置有滚珠(44),所述滚珠(44)远离条形凹槽(4111)的一侧和所述滑动轨道(432)抵接。
8.根据权利要求7所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,所述纵向通道(412)内设置有浮动支撑板(413),所述浮动支撑板(413)和所述定位板(41)的侧壁一体连接,并且位于所述浮动下压板(421)正下方,所述浮动支撑板(413)设置在两块所述浮动导向板(422)之间,所述浮动下压板(421)和所述浮动支撑板(413)之间设置有浮动弹簧。
9.根据权利要求8所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,还包括侧试下压台(5),所述侧试下压台(5)靠近测试座(1)的一侧设置有第一凸起部(51)和第二凸起部(52),所述第一凸起部(51)的位置和放置芯片(7)的位置相适配,所述第二凸起部(52)的位置和所述浮动框架(42)的位置相适配。
10.根据权利要求1-9任一项所述的一种芯片无划伤侧试装置,其特征在于,所述凹槽(33)的底部设置有多个通孔(31),设置在测试座(1)上的探针(6)的一端设置在所述通孔(31)内。
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