[实用新型]一种晶圆表面平整度检测装置

权利要求书

1.一种晶圆表面平整度检测装置，包括安装底座（1），所述安装底座（1）上端转动连接有控制盘（101），所述控制盘（101）上端安装固定有用于放置晶圆（4）的限位工件（3），其特征在于，所述安装底座（1）上端固定连接有安装架（102），所述安装架（102）下端侧壁安装有第一检测元件（6），所述第一检测元件（6）水平设置，其中通过第一检测元件（6）检测晶圆（4）表面凸起的坐标位置，所述安装架（102）下端侧壁安装有第二检测元件（8），所述第二检测元件（8）竖直设置，其中通过第二检测元件（8）检测晶圆（4）的表面凸起的凸起高度。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面平整度检测装置，其特征在于，所述第一检测元件（6）通过伸缩部件（5）安装于安装架（102）下端侧壁，通过所述伸缩部件（5）调节第一检测元件（6）竖直方向高度。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆表面平整度检测装置，其特征在于，所述伸缩部件（5）包括调节筒（501），所述调节筒（501）内滑动连接有调节活塞（502），所述调节活塞（502）侧壁固定连接有调节杆（503），所述第一检测元件（6）安装于调节杆（503）末端，所述调节活塞（502）与调节筒（501）之间形成密封的调节腔室，所述调节腔室通过连接管道（505）外接液压调控设备。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆表面平整度检测装置，其特征在于，所述调节活塞（502）与调节筒（501）内壁之间通过弹性元件（504）弹性连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆表面平整度检测装置，其特征在于，所述第二检测元件（8）通过线性控制设备安装于安装架（102）下端。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆表面平整度检测装置，其特征在于，所述线性控制设备包括电动滑轨（701），所述电动滑轨（701）安装固定于安装架（102）下端表面，所述电动滑轨（701）表面滑动连接有电动滑块（702），所述第二检测元件（8）安装于电动滑块（702）下端表面。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆表面平整度检测装置，其特征在于，所述控制盘（101）上端固定连接有若干个电动转盘（2），所述限位工件（3）安装固定于电动转盘（2）的转动端，所述安装底座（1）内部设置有驱动控制盘（101）转动的驱动设备。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种晶圆表面平整度检测装置，其特征在于，所述第一检测元件（6）与第二检测元件（8）均为激光测距元件，所述第一检测元件（6）以及第二检测元件（8）均外接处理元件。