[实用新型]一种用于处理硬碳颗粒的原子沉积改性设备

权利要求书

1.一种用于处理硬碳颗粒的原子沉积改性设备，其特征在于，包括：

颗粒产生器，所述颗粒产生器设有颗粒出口，

腔室本体，所述腔室本体内限定有第一腔室、第二腔室、第三腔室，所述第一腔室设有颗粒入口，所述颗粒入口与颗粒出口连接；

气体分布板，所述气体分布板设在所述腔室本体内以将所述腔室分割为上腔室和下腔室，所述上腔室具有进气口且所述下腔室具有出气口，所述气体分布板上设有将所述上腔室和所述下腔室连通的多个分配孔；

分布板衬板，所述分布板衬板设置于气体分布板下方，所述分布板衬板的底部设有滑轮，所述腔室本体底部设有滑轨；所述第一腔室、第二腔室、第三腔室之间设有隔板，所述隔板底部与腔室本体之间设有间距，所述间距与分布板衬板的厚度一致。

2.根据权利要求1所述的原子沉积改性设备，其特征在于，所述分布板衬板上设有多个通孔。

3.根据权利要求1所述的原子沉积改性设备，其特征在于，所述分布板衬板连接有气缸，所述气缸用于驱动所述分布板衬板在第一腔室、第二腔室、第三腔室之间移动。

4.根据权利要求1所述的原子沉积改性设备，其特征在于，所述隔板上方设有压紧装置。

5.根据权利要求4所述的原子沉积改性设备，其特征在于，所述隔板朝向所述分布板衬板的一端设有密封垫。

6.根据权利要求1所述的原子沉积改性设备，其特征在于，所述第一腔室、第二腔室、第三腔室均设有气体进出口。