[实用新型]一种微型电极的涂膜装置

权利要求书

1.一种微型电极的涂膜装置，其特征在于，包括底座、升降机构、电极装载盘、环境氛围罩、旋转电机、转盘、控制器和触摸屏，其中：

所述升降机构包括壳体、升降电机、直线导轨、滑块和纵向连接杆，所述壳体设置在所述底座的顶端，所述升降电机设置在所述壳体内，所述直线导轨竖向设置在所述壳体内，所述壳体的前侧面竖向开设有滑块滑动槽；所述滑块可上下滑动地设置在所述直线导轨上，且所述滑块位于滑块滑动槽内；所述滑块由所述升降电机驱动；所述纵向连接杆的一端与所述滑块相连；

所述纵向连接杆的另一端通与所述电极装载盘相连；

所述电极装载盘的外圆周上均布有若干电极定位槽；

所述环境氛围罩罩在所述底座的底端，且所述环境氛围罩位于所述升降机构的前侧；

所述旋转电机安装在所述底座内，所述转盘设置在所述环境氛围罩内，所述旋转电机的输出轴与所述转盘相连，所述转盘的上端面沿其圆周均布有若干膜溶液槽安装位，至少一个膜溶液槽安装位上设置有膜溶液槽；

所述环境氛围罩的顶端沿同一圆周均布有若干电极插孔，所述若干电极插孔一一对应地位于所述若干膜溶液槽安装位的正上方，且所述若干电极插孔与所述若干电极定位槽内的微型电极一一对应；每个电极插孔均采用上下贯通的通孔结构；

所述环境氛围罩的外壁面上开设有两个气孔，其中一个气孔内穿插有惰性气体管路，另一个气孔内穿插有溶剂气氛管路；

所述控制器设置在所述底座内；

所述触摸屏嵌设在所述底座的前侧面；

所述触摸屏、升降电机和旋转电机分别与所述控制器相连，所述控制器通过电源转换芯片外接电源插头。

2.根据权利要求1所述的一种微型电极的涂膜装置，其特征在于，所述膜溶液槽和相应的膜溶液槽安装位之间设置有帕尔贴；所述帕尔贴通过导电滑环供电。

3.根据权利要求2所述的一种微型电极的涂膜装置，其特征在于，所述导电滑环套装在所述旋转电机的输出轴上，所述导电滑环的一端的线缆与所述旋转电机内部的电缆电连接，所述导电滑环的另一端的线缆与所述帕尔贴相连。

4.根据权利要求1所述的一种微型电极的涂膜装置，其特征在于，所述纵向连接杆的另一端和所述电极装载盘的中部分别开设有上下贯通的通孔，且所述纵向连接杆的通孔与所述电极装载盘的通孔连通形成螺栓安装孔；所述纵向连接杆和电极装载盘的中部通过安装在所述螺栓安装孔内的紧固螺栓连接在一起。

5.根据权利要求1所述的一种微型电极的涂膜装置，其特征在于，所述底座上设置有电源开关，所述电源开关与所述电源转换芯片相连。