[实用新型]一种晶圆传送盒搬运车

权利要求书

1.一种晶圆传送盒搬运车，包括主体结构，所述主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构、用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构以及用于实现所述主体结构移动的行走机构，其特征在于，所述执行机构包括叉架和驱动所述叉架运动的驱动装置，所述晶圆传送盒具有与所述叉架配合的叉口；所述晶圆传送盒搬运时，所述驱动装置驱动所述叉架伸入至所述叉口内实现所述晶圆传送盒的移送动作，或者所述驱动装置驱动所述叉架远离所述叉口实现所述晶圆传送盒的释放动作。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述晶圆传送盒上部设置有支撑柱和提拉板，所述支撑柱两端分别与所述晶圆传送盒和所述提拉板相连，所述提拉板、支撑柱和晶圆传送盒围成所述叉口；

所述叉架包括两个相互平行的第一叉臂，所述叉口包括两个相互平行且至少一端开口的第一叉槽；所述晶圆传送盒搬运时，两个所述第一叉臂沿开口分别伸入至两个所述第一叉槽内且与所述提拉板的下表面抵接。

3.根据权利要求2所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述叉架还包括位于两个所述第一叉臂之间且垂直于所述第一叉臂设置的第二叉臂，所述叉口还包括位于两个所述第一叉槽之间且垂直于所述第一叉槽设置的第二叉槽；所述晶圆传送盒搬运时，所述第二叉臂伸入至所述第二叉槽内。

4.根据权利要求2所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，两个所述第一叉臂上均设置有第一检测传感器，两个所述第一叉臂其中一个上的第一检测传感器靠近所述第一叉臂沿其长度方向的第一侧设置，另一个上的第一检测传感器靠近所述第一叉臂沿其长度方向的第二侧设置。

5.根据权利要求2所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述叉架还包括架体和连接结构，所述连接结构用于与所述驱动装置相连，所述架体两端分别与所述第一叉臂和所述连接结构相连，两个所述第一叉臂和/或所述架体上设置有第一围边，所述第一围边用于限制所述晶圆传送盒沿垂直于所述第一叉臂长度方向脱离两个所述第一叉臂之间的区域。

6.根据权利要求5所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述架体上还设置有第二围边，所述第二围边呈倾斜状，用于限制所述晶圆传送盒朝所述连接结构方向的运动，所述架体上设置有定位凸起，所述晶圆传送盒上设置有定位凹槽，所述定位凹槽的开口方向朝向所述第一围边，所述定位凸起与所述定位凹槽卡接配合，用于限制所述晶圆传送盒朝垂直于所述第一叉臂上表面或下表面的方向运动。

7.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述承载结构包括托盘和第一弹簧，所述托盘通过所述第一弹簧安装在所述主体结构上。

8.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述主体结构包括底座结构和设置在底座结构中部的上装结构，所述上装结构的两侧均设置有两个承载结构；

位于所述上装结构同一侧的两个承载结构，沿竖直方向错开设置；

位于所述上装结构两侧且处于同一水平面的两个承载结构，沿水平方向错开设置。

9.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述主体结构包括底座结构，所述行走机构安装于所述底座结构上，所述行走机构包括驱动轮组和减震组件；

所述驱动轮组包括行走轮和固定在所述行走轮一端面的安装板；

所述减震组件包括第二弹簧、固定于所述底座结构的轴承组件和弹簧压板，以及沿垂直于所述安装板端面的方向上设置的两个限位块，所述轴承组件包括轴承座和轴承；

所述安装板的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，所述定位轴固定在所述轴承内，所述安装板的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座，所述第二弹簧安装在所述弹簧座和所述弹簧压板之间，所述行走轮位于所述安装板的第一端和第二端之间，且所述安装板的第二端位于两个所述限位块之间。

10.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述主体结构包括底座结构，所述底座结构外周设置有防撞条，所述主体结构上还设置有保护罩、散热风扇、警示灯、扬声器、激光障碍物传感器以及二维激光雷达传感器。