[实用新型]一种晶圆传送盒搬运车

说明书

本实用新型公开一种晶圆传送盒搬运车，涉及晶圆传送盒搬运设备技术领域，以解决晶圆传送盒搬运效率低的问题。所述晶圆传送盒搬运车包括主体结构，主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构、用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括叉架和驱动叉架运动的驱动装置，晶圆传送盒具有与叉架配合的叉口；晶圆传送盒搬运时，驱动装置驱动叉架伸入至叉口内实现晶圆传送盒的移送动作，或者驱动装置驱动叉架远离叉口实现晶圆传送盒的释放动作，所述晶圆传送盒搬运车用于搬运晶圆传送盒。

技术领域

本实用新型涉及晶圆传送盒搬运设备技术领域，尤其涉及一种晶圆传送盒搬运车。

背景技术

晶圆传送盒(front opening unifiedpod，FOUP)是一种装载有多个晶圆的盒体装置。在晶圆的加工运输过程中，通常需要将晶圆传送盒搬运至不同位置，目前常采用一种搬运机器人来搬运晶圆传送盒，搬运机器人包括器械臂和夹取装置，夹取装置包括夹紧机构和电机，机械臂控制夹取装置运动至晶圆传送盒附近，人工实时控制电机启动以驱动夹紧机构动作夹紧晶圆传送盒，夹紧后人工控制电机关闭以使夹紧机构保持夹紧状态，然后机械臂控制夹取装置运动至指定搬运位置，当晶圆传送盒搬运至指定位置后，人工实时控制电机启动以驱动夹紧机构动作释放晶圆传送盒，从而实现晶圆传送盒的搬运。

采用上述结构可以实现晶圆传送盒的搬运，但是需要通过人工实时控制电机的启动或关闭来控制夹紧机构的动作，采用人工操作控制电机和夹紧机构工作耗时耗力，影响晶圆传送盒的搬运效率，导致晶圆传送盒搬运不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆传送盒搬运车，以提高晶圆传送盒的搬运效率，使得晶圆传送盒搬运更加方便。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶圆传送盒搬运车，包括主体结构，主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构、用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括叉架和驱动叉架运动的驱动装置，晶圆传送盒具有与叉架配合的叉口；晶圆传送盒搬运时，驱动装置驱动叉架伸入至叉口内实现晶圆传送盒的移送动作，或者驱动装置驱动叉架远离叉口实现晶圆传送盒的释放动作。

采用上述技术方案的情况下，主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构和用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构，执行机构包括叉架和驱动叉架运动的驱动装置，晶圆传送盒具有与叉架配合的叉口；采用这种结构，晶圆传送盒搬运时，驱动装置可以驱动叉架伸入至叉口内实现晶圆传送盒的移送动作，或者驱动装置可以驱动叉架远离叉口实现晶圆传送盒的释放动作，从而使取放晶圆传送盒时，通过驱动装置控制叉架伸入叉口或脱离叉口便可以实现晶圆传送盒的取放，不需要单独设置电机驱动且不需要控制夹紧机构动作便能够移送晶圆传送盒，进而不需要人工控制电机驱动夹紧机构动作来取放晶圆传送盒，提高了晶圆传送盒的搬运效率，使得晶圆传送盒搬运更加方便。另外，主体结构上还设置有用于实现主体结构移动的行走机构，通过行走机构可以控制晶圆传送盒搬运车移动，使得晶圆传送盒能够实现远距离搬运。

在一些可能的实现方式中，晶圆传送盒上部设置有支撑柱和提拉板，支撑柱两端分别与晶圆传送盒和提拉板相连，提拉板、支撑柱和晶圆传送盒围成叉口；

叉架包括两个相互平行的第一叉臂，叉口包括两个相互平行且至少一端开口的第一叉槽；晶圆传送盒搬运时，两个第一叉臂沿开口分别伸入至两个第一叉槽内且与提拉板的下表面抵接。如此设置，通过两个第一叉臂与两个第一叉槽配合抬起晶圆传送盒，能够使晶圆传送盒移送时更加稳定。

在一些可能的实现方式中，叉架还包括位于两个第一叉臂之间且垂直于第一叉臂设置的第二叉臂，叉口还包括位于两个第一叉槽之间且垂直于第一叉槽设置的第二叉槽；晶圆传送盒搬运时，第二叉臂伸入至第二叉槽内。如此设置，通过第二叉臂与第二叉槽配合抬起晶圆传送盒，进一步使晶圆传送盒移送时更加稳定。