[实用新型]一种钟罩式气相化学用沉积炉

权利要求书

1.一种钟罩式气相化学用沉积炉，包括钟罩式气相化学沉积炉（1），所述钟罩式气相化学沉积炉（1）直接置于用于支撑的底座（2）上端的中部，且钟罩式气相化学沉积炉（1）通过底座（2）直接置于地面，并且钟罩式气相化学沉积炉（1）与底座（2）之间通过安装机构（13）进行固定；

连接柱（9），所述连接柱（9）固定连接在底座（2）上端的左右两侧，且连接柱（9）的上端套设有呈框架形结构的连接板（10）；

其特征在于，还包括：

固定压板（8），所述固定压板（8）用于对钟罩式气相化学沉积炉（1）的下端压紧固定，且钟罩式气相化学沉积炉（1）与底座（2）之间进行紧密贴合，并且固定压板（8）在钟罩式气相化学沉积炉（1）下端的外侧呈等角度设置；

安装机构（13），所述安装机构（13）对称设置在钟罩式气相化学沉积炉（1）的左右两端，且安装机构（13）用于对钟罩式气相化学沉积炉（1）进行夹持限位。

2.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学用沉积炉，其特征在于：所述底座（2）的中部固定连接有呈竖直状态的固定柱（3），且固定柱（3）的外表面螺纹连接有具有限位作用的活动套（4），并且活动套（4）的下端套设有活动架（5）。

3.根据权利要求2所述的一种钟罩式气相化学用沉积炉，其特征在于：所述活动架（5）与活动套（4）之间通过转动的方式相连接，且活动架（5）的中部固定连接有呈水平状态的活动杆（6），并且活动杆（6）在活动架（5）的外侧呈等角度设置。

4.根据权利要求3所述的一种钟罩式气相化学用沉积炉，其特征在于：所述活动杆（6）远离底座（2）垂直中州线的一侧固定连接有活动块（7），且活动块（7）转动连接在固定压板（8）的下端，并且活动块（7）通过活动杆（6）带动固定压板（8）在底座（2）的中部构成伸缩结构。

5.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学用沉积炉，其特征在于：所述连接板（10）的中部固定连接有连接块（11），且连接块（11）与连接柱（9）的上端通过卡槽的方式相连接，并且连接块（11）与连接柱（9）之间通过螺栓进行固定；

其中，所述连接板（10）的中部固定连接有连接杆（12）。

6.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学用沉积炉，其特征在于：所述安装机构（13）包括用于夹持的安装夹板（14）、用于防止晃动的限位栓（15）、外表面设置有螺纹的安装柱（16）和具有锁紧作用的活动块（7）。

7.根据权利要求6所述的一种钟罩式气相化学用沉积炉，其特征在于：所述安装夹板（14）固定连接在连接杆（12）靠近底座（2）垂直中轴线的一侧，且安装夹板（14）与限位栓（15）之间通过螺纹的方式相连接，并且限位栓（15）对钟罩式气相化学沉积炉（1）进行挤压限位，而且限位栓（15）在安装夹板（14）的外侧呈等角度设置。

8.根据权利要求7所述的一种钟罩式气相化学用沉积炉，其特征在于：所述安装夹板（14）与安装柱（16）之间通过卡槽的方式相连接，且安装柱（16）与安装套（17）之间通过螺纹的方式相连接，并且安装柱（16）和安装套（17）均对称设置在安装夹板（14）的前后两端；

其中，所述安装套（17）贴合设置在安装夹板（14）上。