[实用新型]一种钟罩式气相化学用沉积炉

说明书

本实用新型公开了一种钟罩式气相化学用沉积炉，包括钟罩式气相化学沉积炉、固定压板和安装机构，所述钟罩式气相化学沉积炉直接置于用于支撑的底座上端的中部，连接柱，所述连接柱固定连接在底座上端的左右两侧，所述固定压板用于对钟罩式气相化学沉积炉的下端压紧固定，所述安装机构对称设置在钟罩式气相化学沉积炉的左右两端。该钟罩式气相化学用沉积炉，能够非常便捷的对钟罩式气相化学沉积炉进行夹持固定，防止钟罩式气相化学沉积炉在使用过程中产生晃动，紧固性好，结合固定压板对钟罩式气相化学沉积炉的下端进行压紧限位，使得钟罩式气相化学沉积炉的密封性更好。

技术领域

本实用新型涉及化学设备相关技术领域，具体为一种钟罩式气相化学用沉积炉。

背景技术

钟罩式化学气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种设备，在中温、高温或者常压下都可以进行反应，并且能够为气相化学沉积提供与外界环境隔绝的密闭空间，保证气相化学沉积可以正常运行，使用较为广泛；

车间中通常摆设有钟罩式沉积炉、散热风机、用于冲压切割溅射基材的设备等，这些设备的长期震动容易影响钟罩式化学气相沉积炉使用时的密封性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种钟罩式气相化学用沉积炉，以解决上述背景技术中提出的通常所使用的钟罩式化学气相沉积炉，在实际使用过程中，安装连接的紧固性不好，容易导致设备在使用过程产生晃动，甚至影响钟罩式化学气相沉积炉使用时的密封性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种钟罩式气相化学用沉积炉，包括钟罩式气相化学沉积炉，所述钟罩式气相化学沉积炉直接置于用于支撑的底座上端的中部，且钟罩式气相化学沉积炉通过底座直接置于地面，并且钟罩式气相化学沉积炉与底座之间通过安装机构进行固定；

连接柱，所述连接柱固定连接在底座上端的左右两侧，且连接柱的上端套设有呈框架形结构的连接板；

还包括：

固定压板，所述固定压板用于对钟罩式气相化学沉积炉的下端压紧固定，且钟罩式气相化学沉积炉与底座之间进行紧密贴合，并且固定压板在钟罩式气相化学沉积炉下端的外侧呈等角度设置；

安装机构，所述安装机构对称设置在钟罩式气相化学沉积炉的左右两端，且安装机构用于对钟罩式气相化学沉积炉进行夹持限位。

优选的，所述底座的中部固定连接有呈竖直状态的固定柱，且固定柱的外表面螺纹连接有具有限位作用的活动套，并且活动套的下端套设有活动架。

优选的，所述活动架与活动套之间通过转动的方式相连接，且活动架的中部固定连接有呈水平状态的活动杆，并且活动杆在活动架的外侧呈等角度设置。

优选的，所述活动杆远离底座垂直中州线的一侧固定连接有活动块，且活动块转动连接在固定压板的下端，并且活动块通过活动杆带动固定压板在底座的中部构成伸缩结构。

优选的，所述连接板的中部固定连接有连接块，且连接块与连接柱的上端通过卡槽的方式相连接，并且连接块与连接柱之间通过螺栓进行固定；

其中，所述连接板的中部固定连接有连接杆。

优选的，所述安装机构包括用于夹持的安装夹板、用于防止晃动的限位栓、外表面设置有螺纹的安装柱和具有锁紧作用的活动块。

优选的，所述安装夹板固定连接在连接杆靠近底座垂直中轴线的一侧，且安装夹板与限位栓之间通过螺纹的方式相连接，并且限位栓对钟罩式气相化学沉积炉进行挤压限位，而且限位栓在安装夹板的外侧呈等角度设置。

优选的，所述安装夹板与安装柱之间通过卡槽的方式相连接，且安装柱与安装套之间通过螺纹的方式相连接，并且安装柱和安装套均对称设置在安装夹板的前后两端；

其中，所述安装套贴合设置在安装夹板上。