[实用新型]一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒有效
申请号: | 202222520663.9 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN218756001U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 王勇 | 申请(专利权)人: | 成都四盛科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50;C23C14/35 |
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地址: | 610000 四川省成都市经济技*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 均匀 镀膜 溅射 滚筒 | ||
1.一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,包括:滚筒本体(1)、用于承载限位滚筒本体(1)的承接机构(2)及承接机构(2)外设置其传动作用的传动齿轮(7);
其特征在于,还包括:
所述滚筒本体(1)的内侧中心对称设置有定位挡板(8);
所述承接机构(2)设置在滚筒本体(1)的外侧,且承接机构(2)由连接板(3)、支撑杆(4)、限位块(5)和加热管(6)构成;
所述传动齿轮(7)通过螺钉固定在连接板(3)的外侧;
加热管(6),所述加热管(6)镶嵌安装在连接板(3)的内端内侧,且加热管(6)的外侧直径尺寸小于滚筒本体(1)的内侧直径尺寸;
不锈钢板(9),所述不锈钢板(9)位于定位挡板(8)的内侧,且不锈钢板(9)的外侧粘贴固定有橡胶垫(10)。
2.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,其特征在于:所述承接机构(2)关于滚筒本体(1)中心对称设置,且连接板(3)通过螺钉与滚筒本体(1)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,其特征在于:所述支撑杆(4)和限位块(5)均与连接板(3)为固定一体化结构,且支撑杆(4)在连接板(3)的一端等间距设置,并且支撑杆(4)的高度尺寸与滚筒本体(1)的高度尺寸相同。
4.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,其特征在于:所述限位块(5)与滚筒本体(1)贴合连接,且传动齿轮(7)的内侧直径尺寸大于滚筒本体(1)和连接板(3)的内侧直径尺寸。
5.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,其特征在于:所述不锈钢板(9)与滚筒本体(1)为固定连接,且不锈钢板(9)呈倾斜状结构。
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