[实用新型]硅片传输机构及电池片生产系统

权利要求书

1.一种硅片传输机构，其特征在于，包括：抽片组件(100)和设置于所述抽片组件(100)上方的跑道组件(200)；

所述跑道组件(200)上下方向具有活动空间；

所述抽片组件(100)包括抽片吸盘(110)，所述抽片吸盘(110)配置为能够向上运动至吸附来自设置于抽片组件(100)上方的花篮机构(300)输出端口的硅片，以及，解除对硅片的吸附后沿所述活动空间向下运动至将所述硅片搭载于跑道组件(200)上。

2.根据权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，

所述抽片组件(100)还包括移动平台(130)；

所述移动平台(130)设置于所述跑道组件(200)下方，所述移动平台(130)的侧端延伸有弯折臂(131)，所述弯折臂(131)上连接有所述抽片吸盘(110)。

3.根据权利要求2所述的硅片传输机构，其特征在于，

所述抽片组件(100)还包括第一驱动部(140)；

所述第一驱动部(140)连接于所述移动平台(130)下方，所述第一驱动部(140)配置为驱动所述移动平台(130)横向运动。

4.根据权利要求3所述的硅片传输机构，其特征在于，

所述抽片组件(100)还包括第二驱动部(150)；

所述第二驱动部(150)连接于所述第一驱动部(140)下方，所述第二驱动部(150)配置为驱动所述第一驱动部(140)升降。

5.根据权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，

所述抽片组件(100)还包括真空发生器(120)；

所述真空发生器(120)连接于所述抽片吸盘(110)的下方，且用于使所述抽片吸盘(110)形成真空状态，以使硅片吸附于所述抽片吸盘(110)的上表面。

6.根据权利要求2所述的硅片传输机构，其特征在于，

所述跑道组件(200)包括两个平行且对称设置的皮带输送模块(220)；

所述活动空间由两侧的所述皮带输送模块(220)组成。

7.根据权利要求6所述的硅片传输机构，其特征在于，

所述弯折臂(131)的宽度小于两个所述皮带输送模块(220)的间距。

8.根据权利要求6所述的硅片传输机构，其特征在于，

所述皮带输送模块(220)包括同步带(221)；

所述同步带(221)配置为横向移动，且用于承载硅片。

9.根据权利要求8所述的硅片传输机构，其特征在于，

所述跑道组件(200)还包括第三驱动部(230)；

所述第三驱动部(230)的输出端驱动所述同步带(221)横向运动。

10.一种电池片生产系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的硅片传输机构。