[实用新型]硅片传输机构及电池片生产系统有效
申请号: | 202222528654.4 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN218101213U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 汤帅;孙永刚;李新丰 | 申请(专利权)人: | 苏州迈为科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;H01L21/683 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 徐会娟 |
地址: | 215200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 传输 机构 电池 生产 系统 | ||
本实用新型涉及硅片生产技术领域,尤其是涉及一种硅片传输机构及电池片生产系统。本实用新型提供的硅片传输机构,包括:抽片组件和设置于抽片组件上方的跑道组件;跑道组件上下方向具有活动空间;抽片组件包括抽片吸盘,抽片吸盘配置为能够向上运动至吸附来自设置于抽片组件上方的花篮机构输出端口的硅片,以及,解除对硅片的吸附后沿活动空间向下运动至将硅片搭载于跑道组件上。本实用新型提供的硅片传输机构对硅片表面不造成损伤,避免了电池片效率的损失。
技术领域
本实用新型涉及硅片生产技术领域,尤其是涉及一种硅片传输机构及电池片生产系统。
背景技术
随着光伏行业的发展,人们对于电池片的要求也越来越高。在当前生产活动中,需要将清洗后的电池片从花篮机构(硅片载具)中一片片取出放入石墨载板中(硅片载具),现有技术是用一款伸缩跑道在花篮机构升降机到位后(如图1和图2所示),伸缩板伸出,花篮机构升降机下降,硅片通过皮带一张张流出。
但是,因为经过清洗制绒机的电池片表面十分脆弱,任何剐蹭都会在表面留下痕迹,而皮带输送使得皮带与硅片发生了接触,产生了相对摩擦,从而留下皮带印。电池片表面有皮带印等脏污后会影响电池片发电效率,进而影响企业利润。
因此,现有的电池片传输机构存在皮带与电池片产生相对摩擦,会损伤电池片,使电池片的生产效率低的问题。
实用新型内容
本实用新型提供了一种硅片传输机构及电池片生产系统,以解决现有的电池片传输机构存在的皮带与电池片产生相对摩擦,会损伤电池片,使电池片的生产效率低的问题。
为了缓解上述技术问题,本实用新型提供的技术方案在于:
第一方面,本实用新型提供的硅片传输机构,包括:抽片组件和设置于所述抽片组件上方的跑道组件;
所述跑道组件上下方向具有活动空间;
所述抽片组件包括抽片吸盘,所述抽片吸盘配置为能够向上运动至吸附来自设置于抽片组件上方的花篮机构输出端口的硅片,以及,解除对硅片的吸附后沿所述活动空间向下运动至将所述硅片搭载于跑道组件上。
在可选的实施方式中,
所述抽片组件还包括移动平台;
所述移动平台设置于所述跑道组件下方,所述移动平台的侧端延伸有弯折臂,所述弯折臂上连接有所述抽片吸盘。
在可选的实施方式中,
所述抽片组件还包括第一驱动部;
所述第一驱动部连接于所述移动平台下方,所述第一驱动部配置为驱动所述移动平台横向运动。
在可选的实施方式中,
所述抽片组件还包括第二驱动部;
所述第二驱动部连接于所述第一驱动部下方,所述第二驱动部配置为驱动所述第一驱动部升降。
在可选的实施方式中,
所述抽片组件还包括真空发生器;
所述真空发生器连接于所述抽片吸盘的下方,且用于使所述抽片吸盘形成真空状态,以使硅片吸附于所述抽片吸盘的上表面。
在可选的实施方式中,
所述跑道组件包括两个平行且对称设置的皮带输送模块;
所述活动空间由两侧的所述皮带输送模块组成。
在可选的实施方式中,
所述弯折臂的宽度小于两个所述皮带输送模块的间距。
在可选的实施方式中,
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造