[实用新型]一种真空蒸镀蒸发舟有效
申请号: | 202222534907.9 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN218089762U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 侯建洋;李永强;祁岭;孙欣森 | 申请(专利权)人: | 安迈特科技(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 吴瑛 |
地址: | 102402 北京市房*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 蒸发 | ||
1.一种真空蒸镀蒸发舟,包括舟体(1)以及设置在所述舟体(1)上的第一结构面(11)和蒸发槽(12),所述第一结构面(11)设置在所述舟体(1)的顶面,所述蒸发槽(12)设置在所述第一结构面(11)上,所述蒸发槽(12)包括底壁,其特征在于,所述真空蒸镀蒸发舟还包括凸台(2),所述凸台(2)从所述蒸发槽(12)的底壁向上凸起设置,所述凸台(2)的顶面设有多条第一导流槽(21),多条所述第一导流槽(21)交错设置。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,部分所述第一导流槽(21)沿着所述第一结构面(11)的长度方向设置,另一部分所述第一导流槽(21)沿着所述第一结构面(11)的宽度方向设置,所述第一导流槽(21)的宽度为0.2mm至2mm,所述第一导流槽(21)的深度为0.2mm至2mm,同向设置的相邻两条所述第一导流槽(21)之间的距离为0.2mm至2mm。
3.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,所述凸台(2)的侧面设有多条第二导流槽(3),所述第二导流槽(3)具有相对的第一端和第二端,所述第一端与至少一条所述第一导流槽(21)连通,所述第二端与所述蒸发槽(12)连通。
4.根据权利要求3所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,所述第二导流槽(3)的宽度为0.2mm至2mm,所述第二导流槽(3)的深度为0.2mm至2mm,相邻两条所述第二导流槽(3)之间的距离为0.2mm至2mm。
5.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,所述蒸发槽(12)的底壁设有多条第三导流槽(4),多条所述第三导流槽(4)沿着所述第一结构面(11)的宽度方向间隔设置。
6.根据权利要求5所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,所述第三导流槽(4)的宽度为0.2mm至2mm,所述第三导流槽(4)的深度为0.2mm至2mm,相邻两条所述第三导流槽(4)之间的距离为0.2mm至2mm。
7.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,所述蒸发槽(12)的长度为100mm至200mm,所述蒸发槽(12)的宽度为20mm至50mm。
8.根据权利要求1至7中任意一项所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,所述凸台(2)呈圆台状。
9.根据权利要求8所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,所述凸台(2)的高度为1mm至5mm,所述凸台(2)的上表面直径为3mm至20mm,所述凸台(2)的下表面直径为5mm至25mm。
10.根据权利要求8所述的真空蒸镀蒸发舟,其特征在于,所述凸台(2)与所述蒸发槽(12)的交接位置设置有过渡圆角。
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