[实用新型]一种真空蒸镀蒸发舟

说明书

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开了一种真空蒸镀蒸发舟。该真空蒸镀蒸发舟包括舟体以及设置在舟体上的第一结构面和蒸发槽，蒸发槽包括底壁，真空蒸镀蒸发舟还包括凸台，凸台从蒸发槽的底壁向上凸起设置，凸台的顶面设有多条第一导流槽，多条第一导流槽交错设置。本实用新型通过设置凸台作为送丝点，延长了蒸发舟可侵蚀深度，降低因侵蚀造成的蒸发舟开裂等缺陷，延长蒸发舟的使用寿命，金属丝在凸台的顶面液化，并沿着多条第一导流槽向各个方向扩散，增大了金属液扩散均匀性，并使得金属液能够沿着凸台的侧面流向蒸发槽，加大金属液对整个蒸发槽的浸润，使整个蒸发槽温度分布较均匀，降低因温差而产生爆沸发生的频率，提高产品良率。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，具体地涉及一种真空蒸镀蒸发舟。

背景技术

在柔性基材上均匀涂覆的最常用的方法是高真空带式蒸镀法。其原理是，在真空环境中，将蒸发舟直接通电加热到约1500℃，输入金属丝，金属丝在接触蒸发舟时，会在蒸发舟表面液化，并在真空环境中蒸发，使得在基材的整个宽度方向上涂敷厚度均匀的金属层。

现有的蒸发舟一般采用氮化硼复合材料等材质制成，其主要成分为二硼化钛(TiB2)与氮化硼(BN)，部分蒸发舟会掺杂AlN成分。蒸发舟大致形状均为舟形，中间有凹槽，金属丝接触蒸发舟后蒸发镀到基材表面上。

目前蒸发舟存在明显缺点，即因蒸发材料要放在蒸发舟的凹槽部分，中间接触部分的金属丝难以扩散到整个蒸发舟的表面，形成更大的金属熔池，会造成局部温度过高，容易溅出并且影响整体镀膜效果，同时送丝点位置更容易出现蒸发舟局部腐蚀现象，造成蒸发舟的开裂等缺陷，缩短蒸发舟使用寿命。

实用新型内容

为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空蒸镀蒸发舟。

本实用新型提供了一种真空蒸镀蒸发舟，包括舟体以及设置在所述舟体上的第一结构面和蒸发槽，所述第一结构面设置在所述舟体的顶面，所述蒸发槽设置在所述第一结构面上，所述蒸发槽包括底壁，所述真空蒸镀蒸发舟还包括凸台，所述凸台从所述蒸发槽的底壁向上凸起设置，所述凸台的顶面设有多条第一导流槽，多条所述第一导流槽交错设置。

可选地，部分所述第一导流槽沿着所述第一结构面的长度方向设置，另一部分所述第一导流槽沿着所述第一结构面的宽度方向设置，所述第一导流槽的宽度为0.2mm至2mm，所述第一导流槽的深度为0.2mm至2mm，同向设置的相邻两条所述第一导流槽之间的距离为0.2mm至2mm。

可选地，所述凸台的侧面设有多条第二导流槽，所述第二导流槽具有相对的第一端和第二端，所述第一端与至少一条所述第一导流槽连通，所述第二端与所述蒸发槽连通。

可选地，所述第二导流槽的宽度为0.2mm至2mm，所述第二导流槽的深度为0.2mm至2mm，相邻两条所述第二导流槽之间的距离为0.2mm至2mm。

可选地，所述蒸发槽的底壁设有多条第三导流槽，多条所述第三导流槽沿着所述第一结构面的宽度方向间隔设置。

可选地，所述第三导流槽的宽度为0.2mm至2mm，所述第三导流槽的深度为0.2mm至2mm，相邻两条所述第三导流槽之间的距离为0.2mm至2mm。

可选地，所述蒸发槽的长度为100mm至200mm，所述蒸发槽的宽度为20mm至50mm。

可选地，所述凸台呈圆台状。

可选地，所述凸台的高度为1mm至5mm，所述凸台的上表面直径为3mm至20mm，所述凸台的下表面直径为5mm至25mm。

可选地，所述凸台与所述蒸发槽的交接位置设置有过渡圆角。

本实用新型实施方式提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：