[实用新型]一种具有高温带的ALD喷淋组件

权利要求书

1.一种具有高温带的ALD喷淋组件，包括：

基板，用于容置待加工件；

锁紧件，用于ALD工序中ALD喷淋组件的固定；

高温带，位于所述基板的上表面，用于使ALD喷淋组件和ALD设备内腔体端面紧密贴合；

所述ALD喷淋组件，用于PERC太阳能电池的ALD方式氧化铝膜沉积；

其中基板，包括：

所述待加工件为PERC太阳能电池；

所述基板的上表面通过高温带，与ALD设备内腔体端面形成过盈配合，阻止臭氧和TMA从所述ALD设备内腔体中泄漏；

所述臭氧和TMA是PERC太阳能电池的ALD方式氧化铝膜沉积工序的反应气体；

其中锁紧件，包括：

固定座和调节座；

所述调节座连接于所述固定座；

所述调节座与所述基板连接；

通过对所述固定座和调节座施加外力，使基板的上表面通过高温带，与ALD设备内腔体端面形成过盈配合；

所述固定座和调节座有大于等于两对；

其中高温带，包括：

所述高温带口字型贴于所述基板的上表面的四条边。

2.根据权利要求1所述的组件，其中固定座和调节座，包括：

所述调节座螺纹连接于所述固定座；

所述固定座和调节座有六对。

3.根据权利要求1所述的组件，其中高温带，为耐温性大于120℃的高温胶带。

4.根据权利要求3所述的组件，其中高温胶带，为聚酰亚胺薄膜材料、铁氟龙材料或PET材料。

5.根据权利要求1所述的组件，其中高温带贴于所述基板的上表面所述待加工件的下边。