[实用新型]一种晶圆清洗用甩干装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗用甩干装置，包括安装底座（1），所述安装底座（1）顶端安装有甩干平台（101），所述甩干平台（101）上端转动连接有用于放置晶圆的旋转平台（2），其特征在于，所述旋转平台（2）上端至少设置有两组夹持组件，所述夹持组件包括若干个夹持滑块（202），若干个所述夹持滑块（202）位于旋转平台（2）上端周向分布，所述甩干平台（101）顶端开有用于供夹持滑块（202）滑动的滑槽（201），所述夹持滑块（202）顶端固定连接有夹持板（3），所述夹持板（3）内壁为弧形，多个所述夹持板（3）内壁弧形面位于一个虚拟圆柱体外壁上，所述旋转平台（2）内部设置有两组驱动组件（5），两组所述驱动组件（5）分别与两组夹持组件对应，其中通过驱动组件（5）控制对应的夹持滑块（202）同步移动完成对晶圆的交替夹持限位。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用甩干装置，其特征在于，所述夹持滑块（202）上端固定连接有两组夹持板（3），两组所述夹持板（3）按照滑块移动方向对称分布。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用甩干装置，其特征在于，所述夹持板（3）内壁表面开有若干个透气条纹（302），若干个所述透气条纹（302）竖直方向布置并且朝着旋转平台（2）方向延伸，所述夹持板（3）顶端开有透气开口（301），所述透气开口（301）与透气条纹（302）连通。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗用甩干装置，其特征在于，所述甩干平台（101）上方设置有环形的风干组件（4），所述风干组件（4）下端开有环形风干口，所述风干组件（4）通过连接管道（401）外接风干设备。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种晶圆清洗用甩干装置，其特征在于，所述驱动组件（5）包括驱动盘（502），所述旋转平台（2）内壁开有容纳腔室，所述驱动盘（502）与容纳腔室内壁转动连接，所述驱动盘（502）侧壁边缘部分转动连接有驱动杆（501），所述驱动杆（501）末端与夹持滑块（202）转动连接，所述驱动盘（502）外壁固定连接有齿圈（503），所述容纳腔室内壁转动连接有与齿圈（503）啮合的齿轮（504），所述旋转平台（2）内部设置有驱动齿轮（504）旋转的电控设备。

6.根据权利要求1-4任意一项所述的一种晶圆清洗用甩干装置，其特征在于，所述驱动组件（5）包括液压伸缩杆，所述液压伸缩杆位于旋转平台（2）内部，所述液压伸缩杆的伸缩末端与夹持滑块（202）侧壁固定连接，所述液压伸缩杆外接液压控制设备。